[实用新型]一种外延炉翻新加工用打磨装置

说明书

本实用新型公开了一种外延炉翻新加工用打磨装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱顶部的左侧固定连接有控制柱。本实用新型通过传动箱、控制柱、打磨装置、风机、吸尘管、集尘罩、排尘管、电机、螺柱、螺块、滑杆、连接杆、滑轮、梯形块、滑轨、移动板、限位块和活动柱的配合使用，通过活动柱带动吸尘管上下移动，然后启动风机，致使达到可以及时清理粉尘的效果，该外延炉翻新加工用打磨装置，解决了现有的打磨装置在打磨时会产生一定的粉尘，而这些粉尘不及时清理的话会对周围的环境造成影响，并且也会对操作员的身体造成危害的问题，增强了周围的环境质量，增强了工人的操作舒适度。

技术领域

本实用新型涉及外延炉翻新加工技术领域，具体为一种外延炉翻新加工用打磨装置。

背景技术

外延炉是生产半导体的一种反应室，通常采用CVD(化学气相沉积)的方法来生长碳化硅外延晶片，碳化硅的CVD设备有很多种类型，其中暖壁式CVD因其结构简单、产能大而日益被市场所接受。半导体(semiconductor)，指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

外延炉在翻新加工时需要用到打磨装置，但现有的打磨装置在打磨时会产生一定的粉尘，而这些粉尘不及时清理的话会对周围的环境造成影响，并且也会对操作员的身体造成危害，降低了周围的环境质量，降低了工人的操作舒适度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种外延炉翻新加工用打磨装置，具备可以及时清理粉尘的优点，解决了现有的打磨装置在打磨时会产生一定的粉尘，而这些粉尘不及时清理的话会对周围的环境造成影响，并且也会对操作员的身体造成危害的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种外延炉翻新加工用打磨装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有传动箱，所述传动箱顶部的左侧固定连接有控制柱，所述控制柱右侧的顶部固定连接有打磨装置，所述传动箱右侧的顶部固定连接有风机，所述风机的输出端连通有吸尘管，所述吸尘管远离风机的一侧连通有集尘罩，所述风机的输入端连通有排尘管，所述传动箱内腔右侧的底部固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有螺柱，所述螺柱的表面螺纹连接有螺块，所述螺块的底部固定连接有滑杆，所述滑杆的底部与传动箱的内壁滑动连接，所述螺块的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部通过转轴活动连接有滑轮，所述滑轮的顶部设置有梯形块，所述梯形块的底部开设有滑轨，所述滑轮的顶部滑动连接在滑轨的内部，所述梯形块的顶部固定连接有移动板，所述移动板的两侧均固定连接有限位块，所述限位块的外侧与传动箱的内壁滑动连接，所述移动板顶部的右侧固定连接有活动柱，所述活动柱的顶部贯穿至传动箱的顶部并与吸尘管固定连接。

优选的，所述动板顶部的两侧且位于活动柱的左侧均固定连接有弹簧，所述弹簧的顶部与传动箱的内壁固定连接。

优选的，所述传动箱内腔的两侧均开设有滑槽一，所述限位块的外侧滑动连接在滑槽一的内壁。

优选的，所述传动箱内腔底部的左侧开设有滑槽二，所述滑杆的底部滑动连接在滑槽二的内部。

优选的，所述传动箱内腔左侧的底部固定连接有轴承，所述螺柱的左侧活动连接在轴承的内部。

优选的，所述电机的型号为Y100L-6。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：