[实用新型]一种磁控溅射设备中的镀膜结构

权利要求书

1.一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，包括：

一腔板，其内开设有一半封闭U型腔，所述半封闭U型腔内均布设置有多个第一隔板，两两所述第一隔板之间构成一独立的镀膜空间，所述镀膜空间的一侧设置有一安装板，其上开设有两第一固定孔，所述镀膜空间的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔，所述第一固定孔与所述第二固定孔之间设置有镀膜靶材，所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔，以在所述镀膜空间内通入氩气，所述镀膜空间内还设置有一出气口，以在出气口处通过真空泵使镀膜空间形成真空状态；

一门板，其上可转动设置有一镀膜辊，所述镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板，所述门板上还固定设置有一半圆型架，其与所述镀膜辊间隙配合，所述半圆型架的中部还开设有一通槽，所述半圆型架上均布设置有多个与所述第一隔板相配合的第二隔板；

其中，所述第一隔板的顶部开设有一半封闭的矩形内凹槽，所述第二隔板的底部设置有与所述矩形内凹槽过盈配合的矩形柔性密封条。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，所述第二隔板内还布设有呈锯齿状的冷却管道，在其内通入降温液以对所述第二隔板进行降温。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，所述第二隔板的内表面上还焊接设置有一S状的冷却风管，所述冷却风管上开设有多个朝向所述第二隔板内表面一侧的通风口。

4.根据权利要求2所述的一种磁控溅射设备中的镀膜结构，其特征在于，所述降温液为冷却水或冷却油。