[实用新型]一种磁控溅射设备中的镀膜结构有效

专利信息
申请号: 201921086612.1 申请日: 2019-07-11
公开(公告)号: CN210560705U 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 夏熙;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 申请(专利权)人: 绵阳金能移动能源有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/56
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 代理人: 贾晓燕
地址: 621000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 磁控溅射 设备 中的 镀膜 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种磁控溅射设备中的镀膜结构,包括:一腔板,其内开设有一半密封U型腔,半密封U型腔内均布设置有多个第一隔板,两两第一隔板之间构成一独立的镀膜空间,镀膜空间的一侧设置有一安装板,其上开设有两第一固定孔,腔板上开设的有两与第一固定孔相配合的第二固定孔,第一固定孔与第二固定孔之间设置有镀膜靶材;一门板,其上可转动设置有一镀膜辊,镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板,门板上还固定设置有一半圆型架,半圆型架与所述镀膜辊间隙配合,半圆型架上均布设置有多个与第一隔板相配合的第二隔板;采用本实用新型的镀膜结构,能够提高各镀膜空间内的气密性,防止窜气,减小摩擦阻力,提高镀膜质量与效果。

技术领域

本实用新型涉及一种镀膜结构。更具体地说,本实用新型涉及一种磁控溅射设备中的镀膜结构。

背景技术

目前,磁控溅射镀膜设备中,主要就是镀膜结构对待镀膜基材溅射镀膜,镀膜开始前,镀膜结构中的门板需要向腔板移动,使腔板与门板中的隔板相互配合,在腔板的U型腔中形成相对密闭的镀膜空间。

而现在设置在门板上的第二隔板向设置在腔板上的第一隔板靠近时,为了使两者之间的密闭效果更好,通常第二隔板紧接触在第一隔板上滑动,造成第一隔板与第二隔板之间相互摩擦,损坏设备,另外,虽然两者为紧接触滑动,但第一隔板与第二隔板之间还是不可避免的存在缝隙,导致工艺气体在U型腔内的各镀膜空间之间相互流通,发生窜气的现象,使镀膜层厚度和膜结构与工艺需求不一致,影响膜层质量。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷,并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点,提供了一种磁控溅射设备中的镀膜结构,包括:

一腔板,其内开设有一半封闭U型腔,所述半封闭U型腔内均布设置有多个第一隔板,两两所述第一隔板之间构成一独立的镀膜空间,所述镀膜空间的一侧设置有一安装板,其上开设有两第一固定孔,所述镀膜空间的另一侧、在所述半封闭U型腔的侧板上开设有两与所述第一固定孔相配合的第二固定孔,所述第一固定孔与所述第二固定孔之间设置有镀膜靶材,所述镀膜空间的底部还设置有一通气排孔,以在所述镀膜空间内通入氩气,所述镀膜空间内还设置有一出气口,以在出气口处通过真空泵使镀膜空间形成真空状态;

一门板,其上可转动设置有一镀膜辊,所述镀膜辊的周向上套设有一待镀膜基板,所述门板上还固定设置有一半圆型架,其与所述镀膜辊间隙配合,所述半圆型架的中部还开设有一通槽,所述半圆型架上均布设置有多个与所述第一隔板相配合的第二隔板;

其中,所述第一隔板的顶部开设有一半封闭的矩形内凹槽,所述第二隔板的底部设置有与所述矩形内凹槽过盈配合的矩形柔性密封条。

优选的是,其中,所述第二隔板内还布设有呈锯齿状的冷却管道,在其内通入降温液以对所述第二隔板进行降温。

优选的是,其中,所述第二隔板的内表面上还焊接设置有一S状的冷却风管,所述冷却风管上开设有多个朝向所述第二隔板内表面一侧的通风口。

优选的是,其中,所述降温液为冷却水或冷却油。

本实用新型至少包括以下有益效果:

其一、通过分别在第一隔板与第二隔板上设置的第一柔性密封条与第二柔性密封条,将第一隔板与第二隔板之间的硬接触滑动摩擦变为软接触滑动摩擦,保护隔板的结构,避免损坏设备。

其二、通过分别设置的第一柔性密封条与第二柔性密封条,使第一隔板与第二隔板之间间隙填充密封,使各镀膜空间内的气密性更好,解决每个镀膜空间内的工艺气体窜气问题,有效的改善了每个镀膜空间内所镀的膜层厚度和膜层质量。

其三、通过分别将第一柔性密封条与第二柔性密封条设置为不同开角大小以及长短大小,使两个密封条不需要正对位安装接触也具有较好的气密性效果,使安装简单、方便、高效。

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