[实用新型]电极板及等离子清洗机

说明书

本实用新型涉及一种电极板及等离子清洗机。所述电极板上设有至少两个避让槽，所述避让槽沿同一方向延伸设置；所述避让槽相互间隔设置；当所述电极板承载产品时，所述产品横跨所述至少两个避让槽；所述等离子清洗机包括机械手及电极板，所述机械手包括抓取装置及连接所述抓取装置的移动装置，所述抓取装置用于进入所述电极板的避让槽对横跨避让槽上的产品的相对两侧进行夹取。上述等离子清洗机通过电极板上设置避让槽结合机械手抓取的方式，使得每更换一种不同宽度的产品时无需更换电极板，方便快捷。

技术领域

本实用新型涉及等离子清洗设备领域，特别是涉及一种电极板及等离子清洗机。

背景技术

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。而半导体制造加工过程中，产品往往会被加工用到的溢胶、氧化物等污染物沾上，影响产品后续的电学效果，因此需要等离子清洗机对产品进行清洗。

目前等离子清洗行业中，产品尤其是片状的产品，是通过放置在电极板上送入清洗腔体内进行等离子清洗的；但是每更换一种不同宽度的产品都需要人工干预，根据不同宽度的产品更换不同宽度的电极板；而且更换过程需要停机并且人工操作，造成成本的提升。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种工作效率高的电极板及具有该电电极板的等离子清洗机。

一种电极板，用于等离子清洗机中放置产品，所述电极板上设有至少两个避让槽，所述避让槽沿同一方向延伸设置；当所述电极板承载产品时，所述产品横跨所述至少两个避让槽，以供抓取装置进入所述避让槽抓夹所述产品相对两侧。

在其中一个实施例中，所述避让槽相互平行设置。

在其中一个实施例中，所述避让槽上下贯穿所述电极板设置。

在其中一个实施例中，所述电极板包括多个支撑杆，所述避让槽位于相邻的所述支撑杆之间；所述避让槽的宽度大于相邻的支撑杆的宽度。

一种等离子清洗机，包括机械手及电极板，所述机械手包括抓取装置，所述抓取装置用于进入所述电极板的避让槽对横跨避让槽上的产品的相对两侧进行夹取。

在其中一个实施例中，所述抓取装置包括至少一个夹取机构，夹取机构包括相对设置的第一夹子及第二夹子；所述第一夹子与第二夹子通过动力元件控制相互靠近或者远离运动；所述第一夹子的宽度小于避让槽的宽度，所述第二夹子的宽度小于避让槽的宽度。

在其中一个实施例中，所述等离子清洗机还包括还包括上下料装置、清洗腔体及电极板切换装置；所述等离子清洗机具有清洗区域及位于清洗区域两侧的非清洗区域；所述清洗腔体位于所述清洗区域上；所述电极板的数量至少为两个，其中一个电极板位于清洗区域上，另一个电极板位于其中一个清洗区域上；所述电极板切换装置用于将位于清洗区域的电极板移位到未放置电极板的非清洗区域上，并将另一个非清洗区域上的电极板移位到腾空后的清洗区域上。

在其中一个实施例中，所述等离子清洗机还包括与所述机械手连接的视觉检测装置，所述视觉检测装置用于判断非清洗区域上所述产品在所述电极板上的位置。

在其中一个实施例中，所述电极板切换装置包括移动器、连接移动器的转动器、及连接转动器的至少两个抓手。

在其中一个实施例中，所述上下料装置包括上料机构、下料机构、位于上料机构与下料机构之间的中转流道、及位于上料机构一端的推料机构。