[实用新型]一种用于晶圆夹取的镊子有效
| 申请号： | 201921091098.0 | 申请日： | 2019-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN210414192U | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 陆嘉鑫;李阳 | 申请（专利权）人： | 苏州长瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | B25B9/02 | 分类号： | B25B9/02 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 杨楠 |
| 地址： | 215024 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆夹取 镊子 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶圆夹取的镊子，包括尾部相互连接的两个镊片，其特征在于，至少一个镊片的外表面上设置有一处视觉标记，所述视觉标记用于标记距其所在镊片端部预设长度的位置，所述预设长度等于所述晶圆边缘无效区的宽度。
2.如权利要求1所述用于晶圆夹取的镊子，其特征在于，两个镊片的外表面均设置有所述视觉标记。
3.如权利要求1所述用于晶圆夹取的镊子，其特征在于，所述设置有视觉标记的镊片表面上设置有以该镊片端部为起点并指向该镊片尾部的长度刻度。
4.如权利要求3所述用于晶圆夹取的镊子，其特征在于，所述视觉标记为所述长度刻度中对应于所述预设长度的刻度线。
5.如权利要求1所述用于晶圆夹取的镊子，其特征在于，至少一个镊片的内表面上与所述视觉标记相对应的位置处设置有一处限位凸起。
6.如权利要求1、2、4、5中任一项所述用于晶圆夹取的镊子，其特征在于，两个镊片的长度不同，长度较长镊片的端部宽度也大于长度较短镊片，并且只有长度较短镊片的外表面上设置有所述视觉标记。
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