[实用新型]一种切割晶圆用的清洗设备有效
| 申请号： | 201921105515.2 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN210497435U | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 刘召满 | 申请（专利权）人： | 成都汉芯国科集成技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 白小明 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 切割 晶圆用 清洗 设备 | ||
1.一种切割晶圆用的清洗设备，包括支撑架(1)，其特征在于，所述支撑架(1)上部设置有驱动装置(16)，所述驱动装置(16)与摇摆杆(12)的一端活动连接，所述摇摆杆(12)的另一端与清洗箱(8)固定连接，所述摇摆杆(12)通过转轴(11)与支撑架(1)活动连接，所述清洗箱(8)上部设置有箱盖(6)，所述清洗箱(8)上设置有多个通孔(7)，所述清洗箱(8)内壁均由弹性材料制成，所述清洗箱(8)下方设置有清洗池(4)，所述清洗池(4)下部设置有气缸推杆(10)。
2.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述驱动装置(16)包括驱动电机(15)，所述驱动电机(15)与短连杆(14)的一端活动连接，所述短连杆(14)的另一端与长连杆(13)的一端活动连接，所述长连杆(13)的另一端与摇摆杆(12)活动连接。
3.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述清洗箱(8)数量为2-6个，所述清洗箱(8)之间固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述清洗池(4)内壁上设置有防撞垫(5)。
5.根据权利要求1所述的一种切割晶圆用的清洗设备，其特征在于，所述气缸推杆(10)一侧设置有热风机(9)，所述热风机(9)与排风管(2)的一端连接，所述排风管(2)的另一端延伸至支撑架(1)上部与排风口(3)连接。
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