[实用新型]一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置

权利要求书

1.一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，其特征在于，包括圆盘本体，设置在圆盘上表面周围的置物槽，所述置物槽的中心设置有应力孔，圆盘本体旋转时，置物槽线速度最大的位置沿着圆盘本体直径方向开通导胶槽，所述导胶槽与所述应力孔连通，在与导胶槽垂直方向开通有应力槽，所述应力槽与所述应力孔相连通，在圆盘本体的外周面垂直于应力槽的方向开通有螺孔，且所述螺孔贯穿所述应力槽并与圆盘本体连通。

2.根据权利要求1所述的光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，其特征在于，所述圆盘本体底部加工有卡扣式套筒状连接口。

3.根据权利要求1所述的光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，其特征在于，所述应力槽和应力孔贯穿所述圆盘本体的底部。

4.根据权利要求1所述的光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，其特征在于，所述置物槽的深度低于所述薄片式目标物的厚度。