[实用新型]一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置

说明书

本实用新型公开了一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，包括圆盘本体，设置在圆盘上表面周围的置物槽，所述置物槽的中心设置有应力孔，圆盘本体旋转时，置物槽线速度最大的位置沿着圆盘本体直径方向开通导胶槽，所述导胶槽与所述应力孔连通，在与导胶槽垂直方向开通有应力槽，所述应力槽与所述应力孔相连通，在圆盘本体的外周面垂直于应力槽的方向开通有螺孔，且所述螺孔贯穿所述应力槽并与圆盘本体连通。该装置可以对薄片式目标物进行固定，而且开通的导胶槽能很好地使多余光刻胶甩掉，大大减轻了局部光刻胶堆积的现象。

技术领域

本实用新型涉及光刻成形技术领域，具体涉及一种适用于光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置。

背景技术

传统甩胶装置在对薄片式目标物固定时一般采用真空吸附的固定方法。此方法往往受到材质、贴合度、真空度、密封性、转速、一片脱落后漏气导致其他薄片式目标物脱落等问题的限制，从而大大降低了方法的使用范围和实用性。为了扩大装置的使用范围、加强装置的实用性，设计了一种采用机械固定法的甩胶装置。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，该装置克服了真空吸附固定方法受限于材质、贴合度、真空度、密封性、转速、一片脱落后漏气导致其他目标物脱落等问题的现象。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种光刻甩胶时固定薄片式目标物的装置，包括圆盘本体，设置在圆盘上表面周围的置物槽，所述置物槽的中心设置有应力孔，圆盘本体旋转时，置物槽线速度最大的位置沿着圆盘本体直径方向开通导胶槽，所述导胶槽与所述应力孔连通，在与导胶槽垂直方向开通有应力槽，所述应力槽与所述应力孔相连通，在圆盘本体的外周面垂直于应力槽的方向开通有螺孔，且所述螺孔贯穿所述应力槽并与圆盘本体连通。

进一步的技术方案为，所述圆盘本体底部加工有卡扣式套筒状连接口。

进一步的技术方案为，所述应力槽和应力孔贯穿所述圆盘本体的底部。

进一步的技术方案为，所述置物槽的深度低于所述薄片式目标物的厚度。

进一步的技术方案为，所述置物槽的设置数量及分布情况可以根据使用需求等实际情况灵活确定。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本装置的设计克服了真空吸附固定方法受限于材质、贴合度、真空度、密封性、转速、一片脱落后漏气导致其他目标物脱落等问题的现象。通过调整应力孔的大小与应力槽的位置、宽窄、长短及螺钉孔的位置、大小等可以产生不同大小的、均匀的机械挤压力，可以对不同材质、形状、大小、薄厚的薄片式目标物进行固定。而且开通的导胶槽能很好地使多余光刻胶甩掉，大大减轻了局部光刻胶堆积的现象。

附图说明

图1为本实用新型装置的整体结构示意图；

图2为本实用新型装置的俯视图；

其中，1-圆盘本体，2-置物槽，3-应力孔，4-导胶槽，5-应力槽，6-螺孔，7-卡扣式套筒状连接口。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步的解释和说明。

实施例1