[实用新型]抛光垫及抛光设备有效
| 申请号： | 201921134857.7 | 申请日： | 2019-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN210452283U | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 姜宏 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吴欢燕 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光垫，其特征在于，包括表面功能层和基底层，所述表面功能层和所述基底层之间设有分离层，所述表面功能层和所述基底层均可拆卸的与所述分离层连接。
2.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述分离层包括至少两层分离件，相邻两层所述分离件粘接，靠近所述表面功能层的第一层所述分离件与所述表面功能层粘接，靠近所述基底层的最后一层所述分离件与所述基底层粘接。
3.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述表面功能层包括表面层和防渗层，所述表面层与所述防渗层粘接，所述防渗层与所述分离层粘接。
4.根据权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，所述表面层设有沟槽，用以放置待抛光件。
5.根据权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，所述防渗层的材质为聚乙烯高分子材料。
6.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述基底层的第一侧与所述分离层粘接，所述基底层与第一侧相背的第二侧粘接隔离层。
7.一种抛光设备，其特征在于，包括如权利要求1-6任一项所述的抛光垫和抛光机，所述抛光垫可拆卸的安装在所述抛光机的盘面上。
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