[实用新型]一种靶材的U型冷却水循环装置有效
| 申请号： | 201921140882.6 | 申请日： | 2019-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN210529044U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 施玉良;徐文斌 | 申请（专利权）人： | 法柯特科技（江苏）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 224000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 冷却 水循环 装置 | ||
1.一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板(1)，其特征在于，所述第一支撑板(1)的顶端一侧焊接有第二支撑板(2)，第二支撑板(2)的一侧侧壁焊接有第一固定板(3)，第一固定板(3)的另一端焊接有第一U型管(4)，第一U型管(4)的上方设置有第二U型管(5)，第一U型管(4)和第二U型管(5)相互远离的一侧连接有循环管(14)，循环管(14)上连接有水泵(15)，第一U型管(4)和第二U型管(5)的U型槽侧壁焊接有第一导热板(6)，第一导热板(6)相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽(7)，卡位槽(7)内滑动连接有第二导热板(8)，第二支撑板(2)靠近第二U型管(5)的一侧侧壁开设有滑槽(9)，滑槽(9)上滑动连接有滑板(10)，且滑板(10)远离滑槽(9)的一端与第二U型管(5)侧壁焊接，第二支撑板(2)的顶端焊接有第三支撑板(11)，第三支撑板(11)的顶端连接有推杆电机(12)，推杆电机(12)的输出端与滑板(10)顶端焊接。
2.根据权利要求1所述的一种靶材的U型冷却水循环装置，其特征在于，所述第二导热板(8)的数量设置为多个，第二导热板(8)之间平行设置，且卡位槽(7)的开设个数是第二导热板(8)数量的2至4倍。
3.根据权利要求1所述的一种靶材的U型冷却水循环装置，其特征在于，所述第一U型管(4)和第二U型管(5)的内部设置有冷却液(13)。
4.根据权利要求1所述的一种靶材的U型冷却水循环装置，其特征在于，所述第一U型管(4)远离第一固定板(3)的一侧侧壁焊接有第二固定板(16)，且第二固定板(16)的另一端与第一支撑板(1)顶端焊接。
5.根据权利要求1所述的一种靶材的U型冷却水循环装置，其特征在于，所述循环管(14)的竖截面为回字型，且循环管(14)与第一U型管(4)和第二U型管(5)内部连通。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于法柯特科技（江苏）有限公司，未经法柯特科技（江苏）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201921140882.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
