[实用新型]一种靶材的U型冷却水循环装置

说明书

本实用新型公开了一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽。本实用新型将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率。

技术领域

本实用新型涉及靶材技术领域，尤其涉及一种靶材的U型冷却水循环装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。

靶材在生产过程中，需要对靶材进行冷却，传统的冷却采用风冷，风冷过程中，容易使空气中的灰尘、颗粒等杂质吸附在靶材表面，影响美观度，冷却效果差，为此，我们提出了一种靶材的U型冷却水循环装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种靶材的U型冷却水循环装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种靶材的U型冷却水循环装置，包括第一支撑板，所述第一支撑板的顶端一侧焊接有第二支撑板，第二支撑板的一侧侧壁焊接有第一固定板，第一固定板的另一端焊接有第一U型管，第一U型管的上方设置有第二U型管，第一U型管和第二U型管相互远离的一侧连接有循环管，循环管上连接有水泵，第一U型管和第二U型管的U型槽侧壁焊接有第一导热板，第一导热板相互靠近的一侧侧壁沿竖直方向开设有卡位槽，卡位槽内滑动连接有第二导热板，第二支撑板靠近第二U型管的一侧侧壁开设有滑槽，滑槽上滑动连接有滑板，且滑板远离滑槽的一端与第二U型管侧壁焊接，第二支撑板的顶端焊接有第三支撑板，第三支撑板的顶端连接有推杆电机，推杆电机的输出端与滑板顶端焊接。

优选的，所述第二导热板的数量设置为多个，第二导热板之间平行设置，且卡位槽的开设个数是第二导热板数量的2至4倍。

优选的，所述第一U型管和第二U型管的内部设置有冷却液。

优选的，所述第一U型管远离第一固定板的一侧侧壁焊接有第二固定板，且第二固定板的另一端与第一支撑板顶端焊接。

优选的，所述循环管的竖截面为回字型，且循环管与第一U型管和第二U型管内部连通。

本实用新型的有益效果：

通过设置的第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板、推杆电机、滑槽、滑板、循环管、水泵、第一U型管、第二U型管、第一导热板、第二导热板、卡位槽、第二固定板、第一固定板，将传统的风冷替换为水冷，不仅能够快速对多个不同大小和厚度的靶材进行水冷却，而且对冷却水进行快速循环散热，提高了冷却效率，并且操作简单，生产成本低，有很高的经济性，适合大规模的推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种靶材的U型冷却水循环装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种靶材的U型冷却水循环装置的A部分结构示意图。

图中：1第一支撑板、2第二支撑板、3第一固定板、4第一U型管、5第二U型管、6第一导热板、7卡位槽、8第二导热板、9滑槽、10滑板、11第三支撑板、12推杆电机、13冷却液、14循环管、15水泵、16第二固定板。

具体实施方式