[实用新型]一种带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机

权利要求书

1.一种带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)上设有废气收集处理装置(2)，所述废气收集处理装置(2)包括设置在所述装置主体(1)上的第一出气管(20)，所述第一出气管(20)的其中一末端穿过所述装置主体(1)的外壳并与所述装置主体(1)内部的空腔相连通，所述第一出气管(20)的另外一末端设有保护套筒(21)，所述保护套筒(21)内设有驱动电机(22)，所述驱动电机(22)的输出轴末端紧密焊接有若干个呈环状等间距排列的风扇叶片(221)，所述保护套筒(21)上设有底座(23)，所述底座(23)上设有第二出气管(24)，所述第一出气管(20)与所述第二出气管(24)相连通，所述第二出气管(24)上设有废气处理筒(25)，所述废气处理筒(25)内设有储液空腔(251)，所述第二出气管(24)与所述储液空腔(251)相连通，所述废气处理筒(25)上还设有与所述储液空腔(251)相连通的排气管(26)，所述排气管(26)的末端管体的管壁上紧密粘接有细滤网(27)，所述排气管(26)的末端管体的管壁上还紧密粘接有活性炭吸附网(28)，所述活性炭吸附网(28)位于最外侧。

2.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述底座(23)与所述保护套筒(21)为一体成型结构。

3.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：靠近保护套筒(21)的所述第一出气管(20)的末端管体上紧密焊接有密封盖(201)，所述密封盖(201)与所述保护套筒(21)之间通过若干个紧固螺栓固定连接。

4.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述驱动电机(22)与所述保护套筒(21)的内壁之间紧密焊接有两个相互对称的固定板(222)。

5.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述废气处理筒(25)上还设有沿着废气处理筒(25)高度方向设置的透明视窗(252)。

6.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述废气处理筒(25)上还设有螺纹投药管(253)，所述螺纹投药管(253)与所述储液空腔(251)相连通，所述螺纹投药管(253)上螺纹连接有螺纹盖(254)。

7.根据权利要求1所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述储液空腔(251)内盛装有药液，所述第二出气管(24)的末端管体插入到药液内，所述排气管(26)的末端管体位于药液的上方。

8.根据权利要求3所述的带废气收集装置的半导体钛钨蚀刻机，其特征在于：所述密封盖(201)与所述保护套筒(21)之间还设有密封筒(3)，所述密封筒(3)与所述保护套筒(21)之间插接配合，所述密封筒(3)上设有密封环(30)，所述密封盖(201)将所述密封环(30)压紧在所述保护套筒(21)上。