[实用新型]翻转晶圆的装置

权利要求书

1.一种翻转晶圆的装置，其特征在于，包括机架，所述机架上设有水平转轴和升降机构，所述水平转轴的一端连接动力部件，所述水平转轴通过连接件与所述升降机构相连，所述升降机构带动所述水平转轴在竖直方向上上下移动，所述水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，所述吸盘通过气管连接真空发生器。

2.根据权利要求1所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述机架包括底座和设置在所述底座上的两个立柱；

所述水平转轴套接有两个所述连接件，两个所述连接件分别与两个所述立柱滑动连接，并且两个所述连接件分别通过升降机构连接至所述底座。

3.根据权利要求2所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸垂直固连至所述底座，所述升降气缸的伸缩杆的顶端固连至所述连接件。

4.根据权利要求2所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述升降机构包括竖直设置的丝杠、与所述丝杠螺纹连接的丝杠螺母以及固连所述底座的驱动电机，所述丝杠与所述连接件螺旋传动配合，所述丝杠螺母与所述立柱相连，所述丝杠的底端与所述驱动电机的输出轴相连。

5.根据权利要求1所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，至少其中一个所述连接件上还设置有止回机构，所述止回机构包括棘爪和弹性件，所述棘爪的转动端通过销轴连接于所述连接件，所述棘爪的止回端与其在的连接件之间通过所述弹性件相连；

所述水平转轴上设置有与所述棘爪的止回端相配合的棘轮，所述棘轮与所述水平转轴共轴设置。

6.根据权利要求5所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述弹性件包括扭簧或拉簧。

7.根据权利要求1-6任一项所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，沿所述水平转轴的轴向，所述水平转轴上间隔安装有两个所述吸盘，两个所述吸盘的吸附面共面。

8.根据权利要求2-4任一项所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述底座上设有限位轨道，所述限位轨道包括垂直安装在所述底座上的两个侧板，两个侧板平行布设，所述限位轨道的长度方向与所述水平转轴的轴向相垂直；

沿所述水平转轴的轴向，两个侧板的顶部均设有向两个侧板之间伸出的限位板。

9.根据权利要求1-6任一项所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述动力部件为旋转手柄；或，所述动力部件为旋转气缸。

10.根据权利要求1-6任一项所述的翻转晶圆的装置，其特征在于，所述水平转轴与所述连接件之间通过滚动轴承相连。