[实用新型]翻转晶圆的装置

说明书

本申请公开一种翻转晶圆的装置，包括机架，机架上设有水平转轴和升降机构，水平转轴的一端连接动力部件，水平转轴通过连接件与升降机构相连，升降机构带动水平转轴在竖直方向上上下移动，水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，吸盘通过气管连接真空发生器。根据本实用新型实施例提供的技术方案，吸盘随水平转轴转动以实现晶圆的翻转，成本低，操作简单，安全系数高。

技术领域

本申请一般涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种翻转晶圆的装置。

背景技术

半导体整个流程要经过各种胶类、高温和药液的处理，流程结束后难免会在晶圆的晶背上残留一些小的异物或脏污，这时需要对晶背进行一些擦拭处理；

很多显微镜机台可以实现翻晶背功能，但由于通过真空吸附晶圆正面，如果进行施力处理，会存在晶圆掉落风险；

而目前半导体行业内也会有一些简易的设备，如吸笔，利用吸笔取出晶圆，再将晶圆翻转至晶背朝上，放置于承载晶圆的治具上，再进行擦拭处理，但随着12寸晶圆或更大尺寸的晶圆，这种用吸笔翻转晶圆的风险性很大，易直接掉落或剐蹭到治具，造成晶面受损甚至破片。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种翻转晶圆的装置。

本实用新型提供一种翻转晶圆的装置，包括机架，所述机架上设有水平转轴和升降机构，所述水平转轴的一端连接动力部件，所述水平转轴通过连接件与所述升降机构相连，所述升降机构带动所述水平转轴在竖直方向上上下移动，所述水平转轴上安装有用于吸附晶圆的吸盘，所述吸盘通过气管连接真空发生器。

优选的，所述机架包括底座和设置在所述底座上的两个立柱；

所述水平转轴套接有两个所述连接件，两个所述连接件分别与两个所述立柱滑动连接，并且两个所述连接件分别通过升降机构连接至所述底座。

优选的，所述升降机构包括升降气缸，所述升降气缸垂直固连至所述底座，所述升降气缸的伸缩杆的顶端固连至所述连接件。

优选的，所述升降机构包括竖直设置的丝杠、与所述丝杠螺纹连接的丝杠螺母以及固连所述底座的驱动电机，所述丝杠与所述连接件螺旋传动配合，所述丝杠螺母与所述立柱相连，所述丝杠的底端与所述驱动电机的输出轴相连。

优选的，至少其中一个所述连接件上还设置有止回机构，所述止回机构包括棘爪和弹性件，所述棘爪的转动端通过销轴连接于所述连接件，所述棘爪的止回端与其在的连接件之间通过所述弹性件相连；

所述水平转轴上设置有与所述棘爪的止回端相配合的棘轮，所述棘轮与所述水平转轴共轴设置。优选的，所述弹性件包括扭簧或拉簧。

优选的，沿所述水平转轴的轴向，所述水平转轴上间隔安装有两个所述吸盘，两个所述吸盘的吸附面共面。

优选的，所述底座上设有限位轨道，所述限位轨道包括垂直安装在所述底座上的两个侧板，两个侧板平行布设，所述限位轨道的长度方向与所述水平转轴的轴向相垂直；

沿所述水平转轴的轴向，两个侧板的顶部均设有向两个侧板之间伸出的限位板。

优选的，所述动力部件为旋转手柄；或，所述动力部件为旋转气缸。

优选的，所述水平转轴与所述连接件之间通过滚动轴承相连。

根据本实用新型实施例提供的技术方案，吸盘随水平转轴转动以实现晶圆的翻转，成本低，操作简单，安全系数高。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的实施例提供的翻转晶圆的装置的结构示意图；