[实用新型]一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构

权利要求书

1.一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，包括对称设置的上毛刷组和下毛刷组，所述上毛刷组包括第一毛刷、第二毛刷，所述下毛刷组包括第三毛刷和第四毛刷，所述第一毛刷与所述第三毛刷对位设置，所述第二毛刷与所述第四毛刷对位设置；所述第一毛刷结构与所述第三毛刷结构相适配，所述第二毛刷结构与所述第四毛刷结构相适配；所述第一毛刷为圆型结构，所述第二毛刷为椭圆形结构，所述第二毛刷的最小半径与最大半径比为1：1.2-1.5；所述第一毛刷半径不小于所述第二毛刷最大半径；在所述第一毛刷和所述第二毛刷上均设有若干刷头，所述刷头以圆心为中心向外分布。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述刷头以圆心为中心螺旋形向外扩散分布。

3.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述刷头以圆心为中心呈同向圆弧形向外扩散分布。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第一毛刷与所述第二毛刷中心距离小于硅圆片半径。

5.根据权利要求4所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第一毛刷与所述硅圆片同心设置。

6.根据权利要求5所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第二毛刷圆心位于所述硅圆片内缘。

7.根据权利要求6所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第一毛刷和所述第二毛刷同轴设置且位于所述硅圆片中心轴线上。

8.根据权利要求7所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第一毛刷中心到所述第二毛刷外径的轴线距离大于所述硅圆片的半径。

9.根据权利要求1-3、5-8任一项所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述第一毛刷距离所述硅圆片端面的距离与所述第二毛刷距离所述硅圆片端面的距离相同。

10.根据权利要求9所述的一种大尺寸硅圆片清洗机所用的毛刷结构，其特征在于，所述上毛刷组与所述下毛刷组同向同步旋转。