[实用新型]一种改善颗粒问题的配气路径设备

权利要求书

1.一种改善颗粒问题的配气路径设备，包括室盖(1)、垫圈(2)和分配部件(3)，其特征在于：所述分配部件(3)的边缘处开设有多个安装沉头孔(4)和多个安装穿孔(5)，所述分配部件(3)的顶面设置有第一气体分配面，所述第一气体分配面上设置有平等分配的分配孔(6)，所述分配部件(3)的底面设置有第二气体分配面，所述第二气体分配面上设置有平等分配的分配洞(7)，所述分配孔(6)与分配洞(7)连通设置。

2.根据权利要求1所述的一种改善颗粒问题的配气路径设备，其特征在于：

所述垫圈(2)为聚四氟乙烯垫。

3.根据权利要求1所述的一种改善颗粒问题的配气路径设备，其特征在于：

多个所述安装沉头孔(4)呈圆周阵列布置，所述安装沉头孔(4)设置为六个。

4.根据权利要求1所述的一种改善颗粒问题的配气路径设备，其特征在于：

多个所述安装穿孔(5)两两之间呈对称设置，所述安装穿孔(5)设置为四个。

5.根据权利要求1所述的一种改善颗粒问题的配气路径设备，其特征在于：

所述第一气体分配面和第二气体分配面均呈圆形状。