[实用新型]一种半导体用机械手

权利要求书

1.一种半导体用机械手，其特征在于：包括用于提供Z向直线运动的Z轴模组(1)、用于提供旋转动作的θ轴模组(2)、以及用于提供X方向直线运动的X轴模组(3)、以及V轴模组(4)，所述X轴模组(3)上设置有两组X轴驱动装置，所述V轴模组(4)包括单手指模组(41)和多手指模组(42)，所述单手指模组(41)和多手指模组(42)分别与一组X轴驱动装置相连；

所述单手指模组(41)包括单手指组件(411)，所述多手指模组(42)包括手指驱动组件(421)，所述手指驱动组件(421)的输出端连接有斜导向组件(422)，所述斜导向组件(422)连接有滑块组件(423)，所述滑块组件(423)连接有多手指组件(424)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述手指驱动组件(421)采用丝杠驱动机构。

3.根据权利要求2所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述丝杠驱动机构包括两个丝杠支架(4211)，两个所述的丝杠支架(4211)之间穿设有五条水平的驱动丝杠(4212)，所述驱动丝杠(4212)的一端连接有丝杠电机(4213)，所述驱动丝杠(4212)上设置有丝杠螺母座(4214)，所述斜导向组件(422)包括与丝杠螺母座(4214)相连的斜倒块(4221)，所述斜倒块(4221)的正面设置有前后贯穿的斜导向槽(4222)，所述斜导向槽(4222)内插设有滚动转轴(4223)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述单手指组件(411)包括单个晶圆搬运机械手，所述多手指组件(424)包括五个单个晶圆搬运机械手。

5.根据权利要求4所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述滑块组件(423)包括竖直的滑动槽(4231)，所述滑动槽(4231)内上下依次设置有五个滑块(4232)，所述滑块(4232)的两端设置有支架(4233)，所述滚动转轴(4223)的两端通过所述支架(4233)与所述滑块(4232)相连，同时所述多手指组件(424)中的五个所述的晶圆搬运机械手与五个所述的滑块(4232)一一对应相连。

6.根据权利要求1所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述Z轴模组(1)包括竖直的Z轴固定板(11)，所述Z轴固定板(11)上设置有竖直的Z轴导轨(12)，所述Z轴导轨(12)上可滑动设置有Z轴滑座(13)，所述Z轴滑座(13)上设置有直线电机。

7.根据权利要求6所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述θ轴模组(2)包括水平的θ轴固定板(21)，所述θ轴固定板(21)连接于Z轴滑座(13)的上端，所述θ轴固定板(21)可转动地穿设有θ轴转动筒(22)，所述θ轴固定板(21)上设置有θ轴驱动装置。

8.根据权利要求7所述的一种半导体用机械手，其特征在于：所述X轴模组(3)包括水平的X轴固定板(31)，所述X轴固定板(31)设置于θ轴转动筒(22)的顶部，两组所述的X轴驱动装置设置在X轴固定板(31)上，所述X轴驱动装置包括X轴导轨(32)，所述X轴导轨(32)上可滑动地设置有X轴滑座(33)，所述X轴滑座(33)上设置有直线电机。