[实用新型]一种用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器

权利要求书

1.一种用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，

其特征在于，

所述平展器包括：

刮平体和悬臂；

所述刮平体为平板结构，所述刮平体上设置有至少一矩形端面，所述矩形端面上设置有至少一个沿所述矩形端面长边方向直线延伸的弧面结构；

所述悬臂设置在所述刮平体上且向一侧伸出，所述悬臂的延伸方向与所述矩形端面相平行，且与所述弧面结构的直线延伸方向相垂直。

2.根据权利要求1所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述弧面结构为设置在所述矩形端面长边侧的圆弧形倒角。

3.根据权利要求2所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述刮平体的板面为长方形，所述刮平体两长方形板面的四边棱线上均设置有所述圆弧形倒角。

4.根据权利要求3所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述板面的四角设置有过渡圆角。

5.根据权利要求1所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述悬臂为带有软质护套的长臂手柄。

6.根据权利要求5所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述长臂手柄可拆卸安装在所述刮平体上。

7.根据权利要求6所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述长臂手柄与所述刮平体之间螺纹连接固定。

8.根据权利要求7所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述长臂手柄与所述刮平体之间还设置有防止所述螺纹连接松动的防松动结构。

9.根据权利要求1所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述弧面结构为与所述刮平体一体的弧面凸起部，所述弧面凸起部的截面向背离所述刮平体侧凸起。

10.根据权利要求9所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述弧面凸起部的截面轮廓为圆弧形。

11.根据权利要求1所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述弧面结构为安装在所述刮平体上的圆柱棒。

12.根据权利要求11所述的用于CMP设备研磨垫粘贴的平展器，其特征在于，所述刮平体上设置有沿直线方向延伸的凹槽，所述凹槽的至少一侧贯通，所述凹槽的开口宽度小于所述圆柱棒的直径，所述圆柱棒从所述凹槽的贯通侧沿轴向过盈插入至所述凹槽内，且一部分圆柱面从所述开口凸出至所述凹槽外部。