[实用新型]一种显影机喷头结构

权利要求书

1.一种显影机喷头结构，包括显影液主进液管(1)，其特征在于：所述显影液主进液管(1)的下方连通设置有缓存腔(2)，所述缓存腔(2)的下方连通设置有一组呈直线排列的喷头(3)，该组喷头(3)的长度与被显影晶片的直径相适配。

2.如权利要求1所述的显影机喷头结构，其特征在于：所述喷头(3)间隔设置，且该组喷头(3)的喷嘴孔径从中间向两边逐渐递减。

3.如权利要求1所述的显影机喷头结构，其特征在于：还设置有一组喷头固定座(4)，所述喷头(3)固定安装在喷头固定座(4)上，相邻两喷头固定座(4)间设置有调整相邻两喷头固定座(4)间距离的间隙调节座(5)，喷头固定座(4)和间隙调节座(5)内均设置有显影液通道，显影液通道相互连通形成缓存腔(2)，位于两端的所述喷头固定座(4)一端封闭，其中一个喷头固定座(4)与显影液主进液管(1)连通。

4.如权利要求3所述的显影机喷头结构，其特征在于：所述间隙调节座(5)包括主板(501)，设置在主板(501)两侧的连接管(502)，所述喷头固定座(4)上设置有与连接管(502)相适配的沉孔(401)，所述连接管(502)与沉孔(401)间还设置有密封圈(6)。

5.如权利要求1至4任意一项所述的显影机喷头结构，其特征在于：还设置有冷却循环水进水管(7)和冷却循环水出水管(8)，还设置有相互连通的进水管固定座(9)和出水管固定座(10)，所述显影液主进液管(1)的一部分置于冷却循环水进水管(7)内。