[实用新型]一种掩膜板清洗装置有效
| 申请号： | 201921171823.5 | 申请日： | 2019-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN210304791U | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 江欢;余溁 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201506 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 清洗 装置 | ||
1.一种掩膜板清洗装置，其特征在于，包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：
所述掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，所述机械手臂沿所述移动导轨移动；
沿所述移动导轨延伸方向，所述浸泡式清洗槽、所述喷洒式清洗槽、所述清洗液清除槽和所述烘箱依次设置。
2.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗槽中设置有多个第一喷嘴头；
所述第一喷嘴头的喷洒速率可调。
3.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述清洗液清除槽包括喷洒式清洗液清除槽。
4.根据权利要求3所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗液清除槽中设置有多个第二喷嘴头；
所述第二喷嘴头的喷洒速率可调。
5.根据权利要求1所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述烘箱包括风淋式烘箱。
6.根据权利要求5所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述风淋式烘箱中设置有多个出风口；
所述出风口的出风速率可调。
7.根据权利要求2所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，至少一个浸泡式清洗槽包括第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽；
沿所述移动导轨延伸方向，所述第一浸泡式清洗槽和所述第二浸泡式清洗槽依次设置。
8.根据权利要求7所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述第一浸泡式清洗槽、所述第二浸泡式清洗槽和所述喷洒式清洗槽中设置有第一过滤器和吸附磁石。
9.根据权利要求8所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述掩膜板清洗装置还包括蒸馏冷凝装置；
所述蒸馏冷凝装置的第一端与所述喷洒式清洗槽中的第一喷嘴头相连，所述蒸馏冷凝装置的第二端与所述第一浸泡式清洗槽中的所述第一过滤器相连。
10.根据权利要求4所述的掩膜板清洗装置，其特征在于，所述喷洒式清洗液清除槽中还设置有第二过滤器；
所述掩膜板清洗装置还包括蒸馏分离装置，所述蒸馏分离装置的第一端与所述喷洒式清洗液清除槽中的所述第二喷嘴头相连，所述蒸馏分离装置的第二端与所述喷洒式清洗液清除槽中的所述第二过滤器相连。
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