[实用新型]一种掩膜板清洗装置

说明书

本实用新型实施例公开了一种掩膜板清洗装置，掩膜板清洗装置包括至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿移动导轨移动；沿移动导轨延伸的方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。本实用新型实施例提出的掩膜板清洗装置，通过设置至少一个喷洒式清洗槽，有效提升了掩膜板上异物杂质的清除率，改善了掩膜板清洁效果，提升了通过掩膜板制备的产品的良品率。

技术领域

本实用新型实施例涉及掩膜板清洗领域，尤其涉及一种掩膜板清洗装置。

背景技术

现有技术中，将掩膜板卸下蒸镀机，由装备有电磁或光学等自动导引装置的小车(Automated Guided Vehicle，简称AGV)搬运掩膜板到缓存区域口，自动化搬运掩膜版(Mask)，使其放入Mask卡槽，如图1所示，吊装手臂12吊装起Mask及其卡槽通过滑动导轨11依次立式插入浸泡含有有机溶剂的第一药液槽1、第二药液槽2、第三药液槽3中，溶解掩膜板10上粘有的有机膜层。在有机溶剂的药液槽中浸泡过后，由清洗机吊装手臂12将掩膜板10从有机溶剂药液槽转移到易挥发溶剂药液槽4，溶解掩膜板10上残留的有机溶剂，在由吊装手臂12将掩膜板10传送到烘干室5，去除易挥发溶剂，最后自动化设备将干净的掩膜板10从卡槽中取出，由传送带送至检测区域，再由AGV小车运送并放置在蒸镀机备用。

现有技术中掩膜板在AGV小车运送过程中，以及在蒸镀机工艺过程中，机台磨损导致的含有Fe/Cr、Fe/Ni类异物粘附掩膜板表面，并且这些异物会悬浮在有机溶剂药液槽表面，由于清洗机吊装手臂采用依次立式插入有机溶剂药液槽中，当吊装手臂搬运掩膜板离开有机溶剂的时候，掩膜板上极易粘附该异物杂质，而自动光学检查机检查时，由于异物的材质和掩膜板材质类似，容易导致漏检上机的可能，最终导致产品不良。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提出一种清洗装置，解决掩膜板在清洗过程中，金属异物清洗不完全的问题。

为达此目的，本实用新型实施例提供了一种清洗装置，包括：

至少一个浸泡式清洗槽、至少一个喷洒式清洗槽、至少一个清洗液清除槽和烘箱：

掩膜板清洗装置还包括机械手臂和移动导轨，机械手臂沿所述移动导轨移动；

沿移动导轨延伸方向，浸泡式清洗槽、喷洒式清洗槽、清洗液清除槽和烘箱依次设置。

可选地，喷洒式清洗槽中设置有多个第一喷嘴头；

第一喷嘴头的喷洒速率可调。

可选地，清洗液清除槽包括喷洒式清洗液清除槽。

可选地，喷洒式清洗液清除槽中设置有多个第二喷嘴头；

第二喷嘴头的喷洒速率可调。

可选地，烘箱包括风淋式烘箱。

可选地，风淋式烘箱中设置有多个出风口；

出风口的出风速率可调。

可选地，至少一个浸泡式清洗槽包括第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽；

沿移动导轨延伸方向，第一浸泡式清洗槽和第二浸泡式清洗槽依次设置。

可选地，第一浸泡式清洗槽、第二浸泡式清洗槽和喷洒式清洗槽中设置有第一过滤器和吸附磁石。

可选地，掩膜板清洗装置还包括蒸馏冷凝装置；

蒸馏冷凝装置的第一端与喷洒式清洗槽中的第一喷嘴头相连，蒸馏冷凝装置的第二端与第一浸泡式清洗槽中的第一过滤器相连。

可选地，喷洒式清洗液清除槽中还设置有第二过滤器；