[实用新型]一种真空镀膜水冷辅助阳极管

权利要求书

1.一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，包括：

阳极管(1)，所述阳极管(1)的内部中空设置有冷却区(11)，该冷却区(11)内设置有水冷管(12)，且所述冷却区(11)与所述水冷管(12)连通；

接头组件(2)，所述接头组件(2)密封连接设置于所述阳极管(1)的上端部，其包括与冷却区(11)连通的第一接头(21)及与所述水冷管(12)连通的第二接头(22)；以及

连接组件(3)，所述连接组件(3)设置于所述阳极管(1)的外部，其包括管路单元(31)及水流切换单元(32)，所述管路单元(31)分别与所述第一接头(21)及所述第二接头(22)连通，所述水流切换单元(32)设置于所述管路单元(31)上，其控制切换所述水冷管(12)内冷却水的流动方向。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述水冷管(12)将所述冷却区(11)划分为位于所述水冷管(12)外部的外水冷区(111)及位于所述水冷管(12)内部的内水冷区(112)。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述管路单元(31)包括：

第一管路(311)，所述第一管路(311)的一端与所述第一接头(21)连通，其另一端与冷却水回收装置连通；以及

第二管路(312)，所述第二管路(312)的一端与所述第二接头(22)连通，其另一端与冷却水供应装置连通。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述水流切换单元(32)包括：

第一阀门(321)，所述第一阀门(321)设置于所述第一管路(311)上，其将所述第一管路(311)分割为靠近所述第一接头(21)的第一冷却管(3111)及远离所述第一接头(21)的第二冷却管(3112)；

第二阀门(322)，所述第二阀门(322)设置于所述第二管路(312)上，其接所述第二管路(312)分割为靠近所述第二接头(22)的第三冷却管(3121)及远离所述第二接头(22)的第四冷却管(3122)；

第一切换管路(323)，所述第一切换管路(323)设置于所述第一管路(311)与所述第二管路(312)之间，其连通所述第一冷却管(3111)与所述第四冷却管(3122)；

第二切换管路(324)，所述第二切换管路(324)设置于所述第一管路(311)与所述第二管路(312)之间，其连通所述第二冷却管(3112)与所述第三冷却管(3121)；

第三阀门(325)，所述第三阀门(325)设置于所述第一切换管路(323)上；以及

第四阀门(326)，所述第四阀门(326)设置于所述第二切换管路(324)上。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述第一阀门(321)及所述第二阀门(322)开启，所述第三阀门(325)及所述第四阀门(326)关闭时，所述冷却区(11)内冷却水经第一接头(21)从所述第一管路(311)排出，冷却水供应装置经所述第二管路(312)将对所述水冷管(12)输入冷却水。

6.根据权利要求4所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述第一阀门(321)及所述第二阀门(322)关闭，所述第三阀门(325)及所述第四阀门(326)开启时，所述水冷管(12)内的冷却水经所述第三冷却管(3121)及所述第二冷却管(3112)排出，冷却水供应装置经所述第四冷却管(3122)及所述第一冷却管(3111)输入到所述冷却区(11)内。

7.根据权利要求4所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述第一阀门(321)、第二阀门(322)、第三阀门(325)及第四阀门(326)上设置有控制同步转动的联动组件(4)。

8.根据权利要求7所述的一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其特征在于，所述联动组件(4)包括：

第一链轮(41)，所述第一链轮(41)分别套设于所述第一阀门(321)及第二阀门(322)的阀杆上；

连接轴(42)，所述连接轴(42)连接所述第三阀门(325)及所述第四阀门(326)的阀杆；

第二链轮(43)，所述第二链轮(43)套设于所述连接轴(42)上，其与所述第一链轮(41)位于同一水平面内；

链条(44)，所述链条(44)绕设于所述第一链轮(41)及所述第二链轮(43)上；以及

旋转把手(45)，所述旋转把手(45)与所述第一阀门(321)或所述第二阀门(322)的阀杆连接。