[实用新型]一种真空镀膜水冷辅助阳极管

说明书

本实用新型涉及一种真空镀膜水冷辅助阳极管，其包括阳极管，阳极管内部中空设置有冷却区，冷却区内设置有水冷管，接头组件密封连接设置于阳极管的上端部，连接组件设置于阳极管的外部，包括管路单元及水流切换单元，本实用新型通过设置切换水冷管内的水流流动方向，使冷却区内的冷却水的流动方向可以进行切换，在一个流向的冷却水冷却一端时间后，切换冷却水的流动方向，使冷却水反向流动，解决冷却水在阳极管内越到流动路径末段温差越大的技术问题，弥补冷却水流动路径中首段与末段之间的温度差。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜用阳极管技术领域，尤其涉及一种真空镀膜水冷辅助阳极管。

背景技术

低温等离子体表面处理工艺是指在负压下一般为几十帕，对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态；等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要。

而在阳极管接受电子时，阳极管的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，传统工作中，通常是在阳极管内放置环形冷却管进行冷却，但环形冷却管的冷却效果并不理想。

专利号为CN201821110672.8的专利文献公开了一种水冷辅助接收阳极管，包括：辅助阳极管；冷却组件，所述冷却组件插设在所述辅助阳极管内且与所述辅助阳极管同轴设置；以及连接组件，所述连接组件包括设置在所述辅助阳极管的上端部的上接件和设置在所述辅助阳极管的下端部的下接件；本实用新型解决了制作困难、容易变形的技术问题，其制作简单、不易变形，同时节省成本输出，其冷却效果好，360°回路无死角

实际冷却使用过程中，发明人发现始终保持冷却组件的水流方向一致，会导致冷却水在阳极管中流动路径首段与末段的温度存在较高的温度差。冷却效果不平均。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，通过设置切换水冷管内的水流流动方向，使冷却区内的冷却水的流动方向可以进行切换，在一个流向的冷却水冷却一端时间后，切换冷却水的流动方向，使冷却水反向流动，解决冷却水在阳极管内越到流动路径末段温差越大的技术问题，弥补冷却水流动路径中首段与末段之间的温度差。

针对以上技术问题，采用技术方案如下：

一种真空镀膜水冷辅助阳极管，包括：

阳极管，所述阳极管的内部中空设置有冷却区，该冷却区内设置有水冷管，且所述冷却区与所述水冷管连通；

接头组件，所述接头组件密封连接设置于所述阳极管的上端部，其包括与冷却区连通的第一接头及与所述水冷管连通的第二接头；以及

连接组件，所述连接组件设置于所述阳极管的外部，其包括管路单元及水流切换单元，所述管路单元分别与所述第一接头及所述第二接头连通，所述水流切换单元设置于所述管路单元上，其控制切换所述水冷管内冷却水的流动方向。

作为改进，所述水冷管将所述冷却区划分为位于所述水冷管外部的外水冷区及位于所述水冷管内部的内水冷区。

作为改进，所述管路单元包括：

第一管路，所述第一管路的一端与所述第一接头连通，其另一端与冷却水回收装置连通；以及

第二管路，所述第二管路的一端与所述第二接头连通，其另一端与冷却水供应装置连通。

作为改进，所述水流切换单元包括：

第一阀门，所述第一阀门设置于所述第一管路上，其将所述第一管路分割为靠近所述第一接头的第一冷却管及远离所述第一接头的第二冷却管；