[实用新型]多晶硅还原炉的冷却系统

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，包括：

还原炉，所述还原炉包括钟罩和底盘，所述钟罩设在所述底盘上方，所述底盘设于所述钟罩的底部，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；

换热装置，所述换热装置具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，进一步包括：

第一加压泵，所述第一加压泵与所述换热后冷却水出口相连，所述第一加压泵与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。

3.根据权利要求1或2所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，进一步包括：

缓冲罐，所述缓冲罐与所述底盘高温水出口相连；

第二加压泵，所述第二加压泵与所述缓冲罐相连，所述第二加压泵与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，所述换热装置为板式换热器。

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，在高度方向上，所述钟罩高温水出口位于所述冷却水第一入口的上方。

6.根据权利要求1或5所述的多晶硅还原炉的冷却系统，其特征在于，在高度方向上，所述钟罩高温水出口与所述冷却水第一入口的距离占所述钟罩高度的80-90％。