[实用新型]多晶硅还原炉的冷却系统

说明书

本实用新型公开了多晶硅还原炉的冷却系统，该系统包括：还原炉，包括钟罩和底盘，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；换热装置，具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。采用该系统既显著简化了现有多晶硅还原炉冷却系统的管道，又实现了对钟罩高温水和底盘高温水热量的高效、分级回收利用，同时显著降低了多晶硅还原炉冷却水的远距离循环使用量并实现多晶硅还原炉的安全稳定运行。

技术领域

本实用新型属于多晶硅生产领域，具体而言，本实用新型涉及多晶硅还原炉的冷却系统。

背景技术

多晶硅是太阳能光伏及电子通讯产品类用原料，在光伏电池生产、电子通讯领域中起着举足轻重的作用，因此针对多晶硅生产过程中的各个系统在不断进行优化提升。通过节能降耗的手段来降低多晶硅生产成本是多晶硅生产工作者一直以来孜孜追求的目标。现有多晶硅生产系统中，还原系统是能耗最高、最具有挖潜空间的系统。

现有多晶硅生产80％以上采用改良西门子工艺，基本都是采用多晶硅沉积还原炉生产棒状多晶硅，由还原炉钟罩和还原炉底盘构成的空间内有1080℃的高温沉积载体在高纯三氯氢硅与氢气的混合气氛围下实现多晶硅的气相沉积，还原炉钟罩以及底盘在如此高温的环境氛围下需要采用外供冷却介质来降温，确保设备的安全稳定运行。还原炉钟罩的传统冷却介质有高温水、导热油等介质；底盘大都采用水作为降温介质，不同的还原炉炉型采用不同温度等级的水来实施降温。而对于降温介质的热量回收再利用上，各多晶硅生产企业采用的方法千差万别，甚至很多企业不注重这些热量的回收利用，导致多晶硅生产系统能耗整体偏高，成本难以下降，进而导致企业在激烈的市场竞争中处于下风。传统的多晶硅还原炉冷却系统中，还原炉钟罩用120-150℃的高温水或者导热油进行冷却，还原炉底盘则采用60～90℃的中温水进行冷却，这样的方式水源品种多，冷却系统复杂，使得还原车间配管繁杂，操作困难，热回收利用不全。

因此，现有多晶硅还原炉的冷却技术有待进一步改进。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种多晶硅还原炉的冷却系统。采用该系统既显著简化了现有多晶硅还原炉冷却系统的管道，又实现了对钟罩高温水和底盘高温水热量的高效、分级回收利用，同时显著降低了多晶硅还原炉冷却水的使用量并实现多晶硅还原炉的安全稳定运行。

在本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种多晶硅还原炉的冷却系统，根据本实用新型的实施例，该系统包括：

还原炉，所述还原炉包括钟罩和底盘，所述钟罩设在所述底盘上方，所述底盘设于所述钟罩的底部，所述钟罩具有冷却水第一入口和钟罩高温水出口，所述底盘具有冷却水第二入口和底盘高温水出口，所述底盘高温水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连；

换热装置，所述换热装置具有钟罩高温水入口和换热后冷却水出口，所述钟罩高温水入口与所述钟罩高温水出口相连，所述换热后冷却水出口与所述冷却水第一入口和/或所述冷却水第二入口相连。