[实用新型]一种硅片盒清洗装置

权利要求书

1.一种硅片盒清洗装置，包括清洗室(1)、设置在清洗室(1)内的隔板(13)、安装在隔板(13)底部的超声波换能器以及及控制系统，清洗室(1)包括左腔室(11)和右腔室(12)，其特征在于，位于右腔室(12)的隔板(13)底部设置一驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴穿过隔板(13)、右腔室(12)的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽(2)，所述清洗槽(2)位于右腔室(12)内；

所述清洗槽(2)包括清洗槽体(3)、溢流盘(4)及卡固架(5)，所述溢流盘(4)的下盘面固定连接有转轴(6)，所述转轴(6)穿过清洗槽体(3)的底部与驱动电机(14)的输出轴活动连接，所述溢流盘(4)的上盘面与卡固架(5)的底部卡扣连接，所述卡固架(5)用于稳固支撑硅片盒；

所述转轴(6)与清洗槽体(3)的底部活动密封连接，所述驱动电机(14)的输出轴均与隔板(13)、右腔室(12)的底部活动密封连接，所述超声波换能器、驱动电机(14)均与控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，优选地，所述溢流盘(4)的上盘面中心位置处设置有卡座(41)，所述溢流盘(4)上卡座(41)四周均匀开设有溢流孔(42)，所述卡座(41)包括台座(43)、环座(44)以及位于台座(43)与环座(44)之间的座槽(45)，所述台座(43)上均匀设置有若干个圆周布置的台柱(46)，所述环座(44)上均匀开设有若干个圆周布置的座孔(47)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，所述卡固架(5)包括固定杆(51)、第一支翼(52)、第二支翼(53)和第三支翼(54)，所述固定杆(51)上设置有螺纹，所述第一支翼(52)、第二支翼(53)、第三支翼(54)均套置在固定杆(51)上，所述固定杆(51)的底端设置有杆座(56)，所述杆座(56)包括与座槽(45)相匹配的环插(561)、位于环插(561)内与台座(43)相匹配的台座槽(562)以及位于环插(561)外圈与环座(44)相匹配的环板(563)，所述台座槽(562)内开设有与台柱(46)相匹配的台柱孔(564)，所述环板(563)上设置有与座孔(47)相匹配的板柱(565)，所述第一支翼(52)、第二支翼(53)、第三支翼(54)均包括支套(57)以及均匀设置在支套(57)外的若干个周向布置的翼板(58)，所述支套(57)通过螺母套固在固定杆(51)上，所述翼板(58)上均匀布置有若干个卡块(59)。

4.根据权利要求3所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，所述固定杆(51)的顶端螺纹连接有手柄(55)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，所述清洗槽体(3)的前、后壁顶部上均设有对称的支耳(31)，所述支耳(31)卡坐在右腔室(12)的前、后壁上，所述清洗槽体(3)的左、右壁顶部上均设有对称的手把(32)。

6.根据权利要求1所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，所述清洗槽体(3)的右壁下端设置有出水口(33)。

7.根据权利要求1所述的一种硅片盒清洗装置，其特征在于，所述清洗槽体(3)的一角还设置有支架(7)，所述支架(7)上安装有用于淋洗硅片盒的清洗喷头(8)。