[实用新型]一种硅片盒清洗装置

说明书

本实用新型公开了一种硅片盒清洗装置，包括清洗室、隔板、超声波换能器以及及控制系统，位于右腔室的隔板底部设置一驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过隔板、右腔室的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽，所述清洗槽位于右腔室内；所述清洗槽包括清洗槽体、溢流盘及卡固架，所述溢流盘的下盘面固定连接有转轴，所述转轴穿过清洗槽体的底部与驱动电机的输出轴活动连接，所述溢流盘的上盘面与卡固架的底部卡扣连接，所述卡固架用于稳固支撑硅片盒。本实用新型的清洗槽内设置的溢流盘随驱动电机转动，能使硅片盒在液体中流动清洗，清洗效率高，硅片盒可以再利用，降低硅片盒成本，提高经济效益。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片盒清洗装置，属于硅片加工技术领域。

背景技术

目前，装载硅片的硅片盒大部分是用塑料制成，在硅片盒搬运或使用的过程中，因与其他接触面接触而被磨损或污染，硅片盒上附着有微小颗粒或其他物质，因此硅片盒一般使用一次就不再使用了，导致了原材料的浪费，购买新的硅片盒的价格昂贵，提高生产成本，因此，为降低硅片盒的生产成本，提供一种有效清洁硅片盒的清洗装置，使得硅片盒再利用，节约资源。

实用新型内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种硅片盒清洗装置，在清洗室内设置专用的清洗槽，能够使液体流动清洗硅片盒，清洗效率高，能够将硅片盒清洗干净再利用，降低硅片盒成本，提高经济效益。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种硅片盒清洗装置，包括清洗室、设置在清洗室内的隔板、安装在隔板底部的超声波换能器以及及控制系统，清洗室包括左腔室和右腔室，位于右腔室的隔板底部设置一驱动电机，所述驱动电机的输出轴穿过隔板、右腔室的底部活动连接有能够使液体流动用于清洗硅片盒的清洗槽，所述清洗槽位于右腔室内；所述清洗槽包括清洗槽体、溢流盘及卡固架，所述溢流盘的下盘面固定连接有转轴，所述转轴穿过清洗槽体的底部与驱动电机的输出轴活动连接，所述溢流盘的上盘面与卡固架的底部卡扣连接，所述卡固架用于稳固支撑硅片盒；所述转轴与清洗槽体的底部活动密封连接，所述驱动电机的输出轴均与隔板、右腔室的底部活动密封连接，所述超声波换能器、驱动电机均与控制系统连接，启动控制系统，超声波换能器、驱动电机工作，通过超声波将清洗槽内的硅片盒超声清洗，溢流盘通过驱动电机驱动转轴转动而转动，所述卡固架随溢流盘的转动而转动，硅片盒在流动的液体中清洗。

优选地，所述溢流盘的上盘面中心位置处设置有卡座，所述溢流盘上卡座四周均匀开设有溢流孔，可使液流更加均匀的喷射到硅片盒上，有利于提高清洁效率，所述卡座包括台座、环座以及位于台座与环座之间的座槽，所述台座上均匀设置有若干个圆周布置的台柱，所述环座上均匀开设有若干个圆周布置的座孔。

优选地，所述卡固架包括固定杆、第一支翼、第二支翼和第三支翼，所述固定杆上设置有螺纹，所述第一支翼、第二支翼、第三支翼均套置在固定杆上，所述固定杆的底端设置有杆座，所述杆座包括与座槽相匹配的环插、位于环插内与台座相匹配的台座槽以及位于环插外圈与环座相匹配的环板，所述台座槽内开设有与台柱相匹配的台柱孔，所述环板上设置有与座孔相匹配的板柱，所述第一支翼、第二支翼、第三支翼均包括支套以及均匀设置在支套外的若干个周向布置的翼板，所述支套通过螺母套固在固定杆上，所述翼板上均匀布置有若干个卡块，翼板、卡块将硅片盒卡住，防止硅片盒在液体内漂浮。

优选地，所述固定杆的顶端螺纹连接有手柄。

优选地，所述清洗槽体的前、后壁顶部上均设有对称的支耳，所述支耳卡坐在右腔室的前、后壁上，所述清洗槽体的左、右壁顶部上均设有对称的手把。

优选地，所述清洗槽体的右壁下端设置有出水口。

优选地，所述清洗槽体的一角还设置有支架，所述支架上安装有用于淋洗硅片盒的清洗喷头。