[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置

权利要求书

1.一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，包括支架和传动轮，所述传动轮转动连接在支架上方，其特征在于，所述支架下表面安装有伺服电机组，所述伺服电机组上方传动连接底板，所述底板上方活动连接离子风机，所述离子风机下表面通过电动液压杆与底板活动连接，所述伺服电机组外部安装有玻璃罩，所述支架一侧铆接有控制面板，所述控制面板的信号输出端与伺服电机组的信号输入端通讯连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，其特征在于，所述底板上表面中间位置焊接卡座，所述离子风机下表面中间位置焊接有支撑杆，所述支撑杆插接在卡座内部，且支撑杆和卡座连接处插接有插销。

3.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，其特征在于，所述电动液压杆具体为两组，两组所述电动液压杆呈对称设置，且两组所述电动液压杆的顶端和底端分别与离子风机和底板活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，其特征在于，所述玻璃罩通过螺栓可拆卸连接在支架表面，所述玻璃罩下表面开设有透气孔。