[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置

说明书

本实用新型公开了一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，属于汽车配件生产设备技术领域，包括支架和传动轮，所述传动轮转动连接在支架上方，所述支架下表面安装有伺服电机组，所述伺服电机组上方传动连接底板，所述底板上方活动连接离子风机，所述离子风机下表面通过电动液压杆与底板活动连接，所述伺服电机组外部安装有玻璃罩，所述支架一侧铆接有控制面板，所述控制面板的信号输出端与伺服电机组的信号输入端通讯连接。本实用新型充分利用离子风机的去静电性能，在一个设备内部只需安装一个离子风机，通过伺服电机组驱动离子风机沿着运输轨道做往复运动，达到对汽车配件去除静电的效果，降低了生产的成本和后期的能耗，更加节能。

技术领域

本实用新型涉及汽车配件生产设备技术领域，尤其涉及一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置。

背景技术

磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。

磁控溅射生产线在后处理之前需要经过长距离辊道传输，现有的立式磁控溅射生产线因为玻璃在传动过程中与橡胶传动轮进行摩擦产生静电，静电存在很大的安全隐患，现有的采用离子风机除静电装置，需要在运输轨道上安装多个离子风机，生产成本高，且耗能高。为此，我们提出一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置。

实用新型内容

本实用新型提供一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置，旨在充分利用离子风机的去静电性能，在一个设备内部只需安装一个离子风机，通过伺服电机组驱动离子风机沿着运输轨道做往复运动，达到对汽车配件去除静电的效果，降低了生产的成本和后期的能耗，更加节能。

本实用新型提供的具体技术方案如下：

本实用新型提供的一种用于磁控溅射镀膜生产线的除静电装置包括支架和传动轮，所述传动轮转动连接在支架上方，所述支架下表面安装有伺服电机组，所述伺服电机组上方传动连接底板，所述底板上方活动连接离子风机，所述离子风机下表面通过电动液压杆与底板活动连接，所述伺服电机组外部安装有玻璃罩，所述支架一侧铆接有控制面板，所述控制面板的信号输出端与伺服电机组的信号输入端通讯连接。

可选的，所述底板上表面中间位置焊接卡座，所述离子风机下表面中间位置焊接有支撑杆，所述支撑杆插接在卡座内部，且支撑杆和卡座连接处插接有插销。

可选的，所述电动液压杆具体为两组，两组所述电动液压杆呈对称设置，且两组所述电动液压杆的顶端和底端分别与离子风机和底板活动连接。

可选的，所述玻璃罩通过螺栓可拆卸连接在支架表面，所述玻璃罩下表面开设有透气孔。

本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型充分利用离子风机的去静电性能，在一个设备内部只需安装一个离子风机，通过伺服电机组驱动离子风机沿着运输轨道做往复运动，达到对汽车配件去除静电的效果，降低了生产的成本和后期的能耗，更加节能。

2、本实用新型通过在离子风机和底板之间对称活动连接电动液压杆，便于在伺服电机组带动离子风机横向往复运动的同时，通过电动液压杆驱动离子风机左右摆头，增大工作面积。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。