[实用新型]一种用于真空镀膜机的真空室有效
| 申请号： | 201921210194.2 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210367888U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 胡向忠;陈培专;李仁龙;魏昌华;高翔 | 申请（专利权）人： | 绵阳金能移动能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，包括：
真空腔体；
波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；
主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；
三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方。
2.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板的在真空腔体的内壁的铺设面与真空腔体的内壁相匹配。
3.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为采用螺栓连接。
4.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为：在所述波浪形遮挡板的端部设置有弯折部，所述真空腔体的内壁上设置有与弯折部相匹配的卡槽，所述卡槽和弯折部相匹配连接以实现波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接。
5.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述真空腔体上设置有用于连接真空抽气机组的抽气孔和用于连接充气系统的充气孔。
6.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，还包括导向辊，其设置在真空腔体内，且导向辊分别位于主传动辊与放卷辊之间、主传动辊与收卷辊之间。
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