[实用新型]一种用于真空镀膜机的真空室

说明书

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：真空腔体；波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方；本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机设备领域，更具体地说，本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的真空室。

背景技术

溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层。

目前真空腔体内部靶材溅射是无法杜绝的现象，对靶材溅射出的靶材材料的有效吸附的最大面积为真空腔体内部表面和遮挡板，由于长时间靶材溅射必然会产生遮挡板表面靶材材料堆积，当遮挡板上堆积的靶材材料达到一定厚度时，需对遮挡板进行清理；现有技术中真空腔体内部的遮挡板结构为平面形状，采用平面结构的遮挡板，则平面结构堆积的靶材材料较少，需要频繁进行维护清理，降低了真空镀膜机的利用效率。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：

真空腔体；

波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；

主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；

三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方。

优选的是，所述波浪形遮挡板的在真空腔体的内壁的铺设面与真空腔体的内壁相匹配。

优选的是，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为采用螺栓连接。

优选的是，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为：在所述波浪形遮挡板的端部设置有弯折部，所述真空腔体的内壁上设置有与弯折部相匹配的卡槽，所述卡槽和弯折部相匹配连接以实现波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接。

优选的是，所述真空腔体上设置有用于连接真空抽气机组的抽气孔和用于连接充气系统的充气孔。

优选的是，还包括导向辊，其设置在真空腔体内，且导向辊分别位于主传动辊与放卷辊之间、主传动辊与收卷辊之间。

本实用新型至少包括以下有益效果：本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明：

图1为本实用新型的用于真空镀膜机的真空室的结构示意图；

图2为本实用新型的另一种用于真空镀膜机的真空室的结构示意图；

图3为本实用新型的波浪形遮挡板的结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。