[实用新型]一种石墨盘及其配套衬底

权利要求书

1.一种石墨盘及其配套衬底，石墨盘包括多个用于放置衬底的晶圆凹槽，其特征在于：所述衬底的侧面设置有卡槽，晶圆凹槽的顶部周边设置有上层组件，上层组件底部的至少一侧位于晶圆凹槽的侧壁，上层组件上设有用于固定衬底的侧向组件，侧向组件为可伸缩结构，侧向组件嵌于衬底的卡槽内。

2.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述上层组件在每个晶圆凹槽处设置多个。

3.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：多个所述上层组件连接为一个整体结构，连接的部分不遮挡晶圆凹槽。

4.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述上层组件为倒凹字形结构，相邻的两个晶圆凹槽共用一个上层组件，上层组件的凹面紧贴晶圆凹槽的内壁和石墨盘表面。

5.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述上层组件还设有固定孔和固定部件，固定部件插入固定孔内，将上层组件固定在石墨盘上。

6.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述上层组件的底部侧面设置有固定槽。

7.根据权利要求1所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述侧向组件包括插入固定槽的固定块和与固定块连接的凸起，凸起与衬底的卡槽相匹配。

8.根据权利要求7所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述凸起为具有弹性的弹片结构。

9.根据权利要求7所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述固定块和凸起之间设有能左右伸缩的弹性结构。

10.根据权利要求7所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述凸起为间隔设置或者为沿晶圆凹槽侧壁分布的圆环结构。

11.根据权利要求7所述的一种石墨盘及其配套衬底，其特征在于：所述凸起为铼凸起或者钨凸起。