[实用新型]一种圆柱型MO源钢瓶有效
申请号: | 201921221783.0 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN210261976U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 薛亮;郑江 | 申请(专利权)人: | 常熟制药机械厂有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 圆柱 mo 钢瓶 | ||
1.一种圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,包括设有MO源封装空间且呈圆柱型的钢瓶本体,所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管,同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀;所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段,其中,所述MO源封装空间内还固定焊接有与所述钢瓶本体底板平行的鼓泡对流隔板,所述鼓泡对流隔板贯穿所述内进气管段使得所述内进气管段的入口位于所述鼓泡对流隔板上方,所述内进气管段的出口位于所述鼓泡对流隔板下方,同时所述鼓泡对流隔板上设有若干鼓泡对流口。
2.如权利要求1所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,所述内进气管段呈弯折状,且与所述钢瓶本体底板之间具有进气夹角;其中,所述鼓泡对流隔板贯穿所述内进气管段的弯折段。
3.如权利要求2所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,所述进气夹角的范围为40-70度。
4.如权利要求1所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,所述MO源封装空间的体积为1000mL。
5.如权利要求1所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,与所述MO源封装空间底部中心对应的钢瓶本体底板内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽,且所述调节凹槽与所述内进气管段的出口对应配合形成鼓泡对流空间。
6.如权利要求5所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,所述调节凹槽的截面呈半圆型形状。
7.如权利要求5所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头,用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力;同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述调节凹槽的中心轴线重合。
8.如权利要求1所述的圆柱型MO源钢瓶,其特征在于,所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度,且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的