[实用新型]一种圆柱型MO源钢瓶

说明书

本实用新型公开了一种圆柱型MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱型的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；进气管包括固定密封连接为一体且位于MO源封装空间外部的外进气管段以及位于MO源封装空间内部的内进气管段，MO源封装空间内还固定焊接有与钢瓶本体底板平行的鼓泡对流隔板，鼓泡对流隔板贯穿内进气管段使得内进气管段的入口位于鼓泡对流隔板上方，内进气管段的出口位于鼓泡对流隔板下方，同时鼓泡对流隔板上设有若干鼓泡对流口；本实用新型通过对自身结构进行简单改进，可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种圆柱型MO源钢瓶。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源流量饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种圆柱型MO源钢瓶，通过对自身结构进行简单改进，可以有效提高MO源的流量饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种圆柱型MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱型的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀；所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述MO源封装空间内还固定焊接有与所述钢瓶本体底板平行的鼓泡对流隔板，所述鼓泡对流隔板贯穿所述内进气管段使得所述内进气管段的入口位于所述鼓泡对流隔板上方，所述内进气管段的出口位于所述鼓泡对流隔板下方，同时所述鼓泡对流隔板上设有若干鼓泡对流口。

优选地，所述内进气管段呈弯折状，且与所述钢瓶本体底板之间具有进气夹角；其中，所述鼓泡对流隔板贯穿所述内进气管段的弯折段。

优选地，所述进气夹角的范围为40-70度。

优选地，所述MO源封装空间的体积为1000mL。

优选地，与所述MO源封装空间底部中心对应的钢瓶本体底板内侧上设有用于提高MO源流量饱和度的调节凹槽，且所述调节凹槽与所述内进气管段的出口对应配合形成鼓泡对流空间。

优选地，所述调节凹槽的截面呈半圆型形状。

优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述调节凹槽的中心轴线重合。

优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。