[实用新型]一种MO源钢瓶的安装结构有效
申请号: | 201921221840.5 | 申请日: | 2019-07-31 |
公开(公告)号: | CN210261977U | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
发明(设计)人: | 郑江;薛亮 | 申请(专利权)人: | 常熟制药机械厂有限公司 |
主分类号: | C23C16/448 | 分类号: | C23C16/448 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215500 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 mo 钢瓶 安装 结构 | ||
1.一种MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,包括设有MO源封装空间的钢瓶本体,所述钢瓶本体上分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管,所述进气管包括固定焊接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段,其中,所述内进气管段呈弯折状,且所述内进气管段的出口与所述钢瓶本体中心部对应配合形成鼓泡对流区域;所述内进气管段的壁厚小于所述外进气管段的壁厚,且所述内进气管段的外径小于所述外进气管段的内径;位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上还设有压力传感器接头,用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力;同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述钢瓶本体的中心轴线重合。
2.如权利要求1所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述固定焊接连接方式采用惰性气体保护焊。
3.如权利要求1所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述外进气管段的壁厚范围为1-2mm,所述内进气管段的壁厚范围为0.5-1mm。
4.如权利要求1所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述钢瓶本体包括呈对称分布的弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底,所述弧型钢瓶盖和弧型钢瓶底通过中部圆筒钢瓶一体成型连接;所述弧型钢瓶盖上分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管,同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀;所述弧型钢瓶底固定焊接在钢瓶支撑架上,且所述进气管的出口与所述弧型钢瓶底中心部对应配合在所述MO源封装空间内形成高效鼓泡对流区域。
5.如权利要求1或4所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述MO源封装空间的体积为4000mL。
6.如权利要求1或4所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度,且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。
7.如权利要求4所述的MO源钢瓶的安装结构,其特征在于,所述弧型钢瓶盖两侧分别固定设有呈对称分布的左把手和右把手。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的