[实用新型]一种用于化学气相沉积设备的馈通装置

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，包括外筒(1)，其特征在于：所述外筒(1)的内壁套接有旋转筒(2)，所述外筒(1)的底部固定连接有基板(3)，所述基板(3)的底部固定连接有底筒(4)，所述底筒(4)的底部固定连接有涂布器(5)，所述外筒(1)的外壁固定连接有底座(6)，所述底座(6)朝外面的一侧固定连接有进气管(7)，所述底座(6)朝外面的另一侧活动连接有旋转杆(8)，所述旋转杆(8)的顶部固定连接有旋转钮(9)，所述进气管(7)的朝内面固定连接有内圈(16)，所述内圈(16)的外壁开设有弧形槽(19)，所述内圈(16)的内部边缘铰接有三角叶片(17)，所述三角叶片(17)的一端铰接有连接杆(20)，所述连接杆(20)的顶端铰接有外圈(18)，所述外圈(18)的外壁啮合有转动轮(15)，所述转动轮(15)的中心处固定连接有旋转杆(8)，所述内圈(16)的朝内面固定连接有连接管(10)，所述连接管(10)的朝内面活动连接有旋转筒(2)，所述旋转筒(2)的外壁开设有圆形槽(14)，所述旋转筒(2)的底部开设有矩形槽(13)，所述矩形槽(13)活动连接在凹型座(12)的内壁上，所述旋转筒(2)的内壁活动连接有出气管(11)。

2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述底筒(4)的顶部贯通基板(3)的中心处与外筒(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述底座(6)、进气管(7)、旋转杆(8)、旋转钮(9)、连接管(10)、出气管(11)、转动轮(15)、内圈(16)、三角叶片(17)和外圈(18)均有六个，均匀设置在外筒(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述三角叶片(17)、弧形槽(19)和连接杆(20)均有五个。

5.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述内圈(16)的面积等于五个三角叶片(17)的面积和。

6.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述连接杆(20)的底端与内圈(16)上开设的弧形槽(19)相契合。

7.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积设备的馈通装置，其特征在于：所述圆形槽(14)的半径与连接管(10)和出气管(11)的半径相等。