[实用新型]一种硅片传输线

权利要求书

1.一种硅片传输线，其特征在于，包括硅片转盘、硅片搬运装置和硅片传输台，所述硅片转盘包括转台和若干夹持平台，若干所述夹持平台均匀分布在转台外周，所述转台带动所述夹持平台转动；所述硅片搬运装置包括吸附传输平台，所述吸附传输平台的一端设置在所述转盘一侧的夹持平台上方，所述吸附传输平台的另一端设置所述硅片传输台的上方，所述吸附传输平台包括皮带传输线和设置在皮带传输线上的吸孔，所述吸孔吸气能够将所述硅片从夹持平台上吸起，吸附在所述皮带传输线上，经所述皮带传输线传送到硅片传输台的上方，所述吸孔停止吸气，所述硅片落在所述硅片传输台上。

2.如权利要求1所述的硅片传输线，其特征在于，所述夹持平台包括两个对应设置的夹持臂和设置在所述夹持臂端部的固定块，所述转台上设置有第一条形孔，两个所述夹持臂均设置在所述第一条形孔中，所述夹持臂在所述第一条形孔内移动，从而调节两个夹持臂的相对距离，所述固定块在两个所述夹持臂的对应位置开设有第二条形孔，在所述第一条形孔和第二条形孔处分别将所述夹持臂固定。

3.如权利要求2所述的硅片传输线，其特征在于，所述转台包括第一支撑架、第一驱动源、气动回转接头，所述第一驱动源和气动回转接头都固定在第一支撑架上，所述气动回转接头包括分度盘和旋转接头，所述分度盘固定设置在所述第一支撑架上，所述旋转接头与所述第一驱动源连接，所述第一驱动源带动所述旋转接头和所述夹持平台同步转动。

4.如权利要求3所述的硅片传输线，其特征在于，所述夹持臂的边缘设置有台阶，两个夹持臂上的台阶均设置在所述夹持臂的内侧，两个所述台阶构成置物平台，所述硅片放置在置物平台上，所述夹持臂底部设置有若干真空吸盘，所述真空吸盘通过气管与气动回转接头连通，所述气动回转接头的另一端与真空发生器连通。

5.如权利要求1所述的硅片传输线，其特征在于，所述皮带传输线包括吸盘、第二支撑架、多个真空管和真空电磁阀，所述吸盘能够将所述硅片吸起，多个所述真空管嵌设在所述皮带传输线中，多个所述真空管分隔不连通，若干所述吸孔均与所述真空管连通，多个所述真空管分别与真空电磁阀通过气管连通，所述真空电磁阀能够单独控制每一个真空管内的真空环境。

6.如权利要求5所述的硅片传输线，其特征在于，所述皮带传输线还包括第二驱动源、传输线材、传动轮、导向轮和皮带，所述传输线材固定在所述第二支撑架上，所述真空管嵌设在传输线材内，所述第二驱动源、传动轮和导向轮均设置在所述传输线材上，所述第二驱动源带动所述传动轮转动，所述导向轮设置在所述传输线材的两侧端部，所述皮带沿所述传动轮、导向轮紧绷套设在所述传输线材外周，所述传动轮转动带动所述皮带传动，所述皮带的宽度小于所述传输线材的宽度，若干所述吸孔位于所述皮带的两侧，所述皮带不遮挡所述吸孔。

7.如权利要求6所述的硅片传输线，其特征在于，所述传动轮沿皮带传输方向的两侧还设置有张紧轮，所述张紧轮设置在所述传输线材上，所述张紧轮压在所述皮带上方。

8.如权利要求6所述的硅片传输线，其特征在于，所述传输线材上包括两条平行设置的直线线材，所述吸盘设置在两条直线线材之间，每条直线线材上均设置有传动轮、导向轮、皮带和张紧轮，两个所述传动轮之间设置有联动轴，所述联动轴带动两个所述传动轮同步转动。

9.如权利要求1所述的硅片传输线，其特征在于，所述硅片传输台包括第三支撑架、第三驱动源、皮带线、传输皮带，所述第三驱动源和皮带线固定在所述第三支撑架上，所述传输皮带套设在所述皮带线外周，所述皮带线的两侧设置有导轮，所述导轮带有弧度，保证传输皮带自定心。

10.如权利要求1所述的硅片传输线，其特征在于，还包括硅片检测装置，所述硅片检测装置分别设置在所述硅片搬运装置的下方和所述硅片传输台的上方，用于分别检测硅片的底部和顶部。