[实用新型]磨边机的晶片固定装置

权利要求书

1.一种磨边机的晶片固定装置，所述磨边机包括工作台(100)，其特征在于，所述晶片固定装置包括两个晶片载台、三个推块、两个丝杆、两个电机(40)和真空泵(50)；所述晶片载台上间隔设有第一凹槽(10a)、第二凹槽(10b)和通孔(10c)，所述第一凹槽(10a)的延伸方向和所述第二凹槽(10b)的延伸方向相反，所述第一凹槽(10a)的中心线和所述第二凹槽(10b)的中心线重合；所述两个晶片载台固定在所述工作台(100)上，所述两个晶片载台分别为第一晶片载台(11)和第二晶片载台(12)，所述第一晶片载台(11)的第二凹槽(10b)和所述第二晶片载台(12)的第一凹槽(10a)连通；所述三个推块分别为第一推块(21)、第二推块(22)和第三推块(23)，所述两个丝杆分别为第一丝杆(31)和第二丝杆(32)；所述第一推块(21)穿过所述第一晶片载台(11)的第一凹槽(10a)，套设在所述第一丝杆(31)上；所述第二推块(22)穿过所述第一晶片载台(11)的第二凹槽(10b)或者所述第二晶片载台(12)的第一凹槽(10a)，套设在所述第一丝杆(31)上；所述第三推块(23)穿过所述第二晶片载台(12)的第二凹槽(10b)，套设在所述第二丝杆(32)上；所述两个电机(40)和所述两个丝杆一一对应，所述电机(40)与所述电机(40)对应的丝杆传动连接；所述真空泵(50)分别与所述两个晶片载台的通孔(10c)连通。

2.根据权利要求1所述的晶片固定装置，其特征在于，所述推块为垂直连接的水平部(20a)和竖直部(20b)组成的T型块；所述水平部(20a)设置在所述晶片载台上，用于推动晶片；所述竖直部(20b)可滑动地设置在所述第一凹槽(10a)或者所述第二凹槽(10b)内，所述竖直部(20b)远离所述水平部(20a)的一端套设在所述丝杆(30)上。

3.根据权利要求2所述的晶片固定装置，其特征在于，所述第一推块(21)的水平部(20a)为弧形结构，所述第二推块(22)的水平部(20a)为沙漏形结构，所述第三推块(23)的水平部(20a)为弧形结构。

4.根据权利要求1～3任一项所述的晶片固定装置，其特征在于，所述通孔(10c)的数量为两个，两个所述通孔(10c)之间的距离大于晶片的半径且小于晶片的直径。

5.根据权利要求1～3任一项所述的晶片固定装置，其特征在于，所述晶片固定装置还包括控制器(81)、电源(82)和两个变频器(83)；所述两个变频器(83)与所述两个电机(40)一一对应，所述变频器(83)分别与所述变频器(83)对应的电机(40)、所述控制器(81)和所述电源(82)电连接。

6.根据权利要求5所述的晶片固定装置，其特征在于，所述晶片固定装置还包括两个第一电磁阀(84)，所述两个第一电磁阀(84)与所述两个晶片载台一一对应，所述第一电磁阀(84)串联在所述第一电磁阀(84)对应的晶片载台的通孔(10c)与所述真空泵(50)之间，并与所述控制器(81)电连接。

7.根据权利要求5所述的晶片固定装置，其特征在于，所述晶片固定装置还包括两个条形挡块(60)和两个伸缩油缸(70)；所述两个伸缩油缸(70)的缸体固定在所述工作台(100)上，所述两个伸缩油缸(70)的活塞杆向远离所述工作台(100)的方向延伸；所述两个条形挡块(60)与所述两个伸缩油缸(70)一一对应，所述条形挡块(60)固定在所述条形挡块(60)对应的伸缩油缸(70)的活塞杆上，所述条形挡块(60)的延伸方向与所述第一凹槽(10a)的延伸方向平行。

8.根据权利要求7所述的晶片固定装置，其特征在于，所述晶片固定装置还包括液压源(85)和两个第二电磁阀(86)；所述两个第二电磁阀(86)与所述两个伸缩油缸(70)一一对应，所述第二电磁阀(86)串联在所述第二电磁阀(86)对应的伸缩油缸(70)和所述液压源(85)之间，并与所述控制器(81)电连接。