[实用新型]磨边机的晶片固定装置

说明书

本实用新型公开了一种磨边机的晶片固定装置，属于磨削加工领域。晶片固定装置包括两个晶片载台、三个推块、两个丝杆、两个电机和真空泵；晶片载台上间隔设有第一凹槽、第二凹槽和通孔，第一凹槽的延伸方向和第二凹槽的延伸方向相反，第一凹槽的中心线和第二凹槽的中心线重合，第一晶片载台的第二凹槽和第二晶片载台的第一凹槽连通；第一推块穿过第一晶片载台的第一凹槽套设在第一丝杆上，第二推块穿过第一晶片载台的第二凹槽或者第二晶片载台的第一凹槽套设在第一丝杆上，第三推块穿过第二晶片载台的第二凹槽套设在第二丝杆上；电机与电机对应的丝杆传动连接；真空泵分别与两个晶片载台的通孔连通。本实用新型可保证各个晶片的位置保持一致。

技术领域

本实用新型涉及磨削加工领域，特别涉及一种磨边机的晶片固定装置。

背景技术

发光二极管(英文：Light Emitting Diode，简称：LED)是一种可以把电能转化成光能的半导体二极管。LED的衬底材料主要采用蓝宝石。随着LED在照明行业的发展和技术的不断创新，蓝宝石衬底的需求量快速增长。

蓝宝石衬底的制造过程包括：制备由单晶材料组成的晶体棒；对晶体棒的两端进行切割、打磨，对晶体棒的侧面进行磨圆，将晶体棒加工成一个规整的圆柱体，圆柱体的轴向与晶体棒的晶向呈一个固定的夹角；对圆柱体进行切片得到晶片；对晶片的表面进行打磨和抛光，并对晶片的边缘进行磨边，得到蓝宝石衬底。其中，边缘磨边采用磨边机实现。磨边机上设有放置晶片的载台，载台内设有真空腔，真空腔分别与载台的表面和真空泵连通。先将晶片放置在载台的表面上，利用真空泵抽取真空腔内的空气，即可利用大气压力将晶片固定在载台上。再将打磨轮沿晶片的边缘移动，并在移动过程中对晶片进行打磨，即可去除晶片边缘的毛刺。

在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

载台表面是一个平面，各个晶片放置在载台表面上的位置很难完全相同，但是打磨轮的移动路径是保持不变的，因此打磨轮的移动路径无法与所有晶片的边缘保持一致，导致晶片的加工精度较低。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种磨边机的晶片固定装置，可以保证各个晶片放置在载台表面上的位置保持一致，避免打磨轮的移动路径与晶片的边缘之间产生误差，提高晶片的加工精度。所述技术方案如下：

本实用新型实施例提供了一种磨边机的晶片固定装置，所述磨边机包括工作台，所述晶片固定装置包括两个晶片载台、三个推块、两个丝杆、两个电机和真空泵；所述晶片载台上间隔设有第一凹槽、第二凹槽和通孔，所述第一凹槽的延伸方向和所述第二凹槽的延伸方向相反，所述第一凹槽的中心线和所述第二凹槽的中心线重合；所述两个晶片载台固定在所述工作台上，所述两个晶片载台分别为第一晶片载台和第二晶片载台，所述第一晶片载台的第二凹槽和所述第二晶片载台的第一凹槽连通；所述三个推块分别为第一推块、第二推块和第三推块，所述两个丝杆分别为第一丝杆和第二丝杆；所述第一推块穿过所述第一晶片载台的第一凹槽，套设在所述第一丝杆上；所述第二推块穿过所述第一晶片载台的第二凹槽或者所述第二晶片载台的第一凹槽，套设在所述第一丝杆上；所述第三推块穿过所述第二晶片载台的第二凹槽，套设在所述第二丝杆上；所述两个电机和所述两个丝杆一一对应，所述电机与所述电机对应的丝杆传动连接；所述真空泵分别与所述两个晶片载台的通孔连通。

可选地，所述推块为垂直连接的水平部和竖直部组成的T型块；所述水平部设置在所述晶片载台上，用于推动晶片；所述竖直部可滑动地设置在所述第一凹槽或者所述第二凹槽内，所述竖直部远离所述水平部的一端套设在所述丝杆上。

进一步地，所述第一推块的水平部为弧形结构，所述第二推块的水平部为沙漏形结构，所述第三推块的水平部为弧形结构。

可选地，所述通孔的数量为两个，两个所述通孔之间的距离大于晶片的半径且小于晶片的直径。