[实用新型]溅射靶安装用导正套

权利要求书

1.一种溅射靶安装用导正套，能够用于将溅射靶安装于设备的侧壁，所述溅射靶设有朝向所述侧壁所在方向延伸的导管，所述侧壁设有沿其壁厚方向贯通的安装孔，其特征在于，所述导正套包括：

导正套本体，所述导正套本体形成为柱状且其轴向长度大于所述导管的轴向长度，所述导正套本体内限定有沿其轴向延伸的定位孔，所述导管的一端穿过所述导正套本体的一端伸入所述定位孔，所述导正套本体的另一端的外壁面形成为朝向所述安装孔的中心所在方向向内倾斜延伸的导向斜面，所述导向斜面朝向所述安装孔所在方向的一端的外径尺寸小于所述安装孔的内径尺寸，所述导向斜面能够穿过所述导向孔并将所述导管引入所述安装孔。

2.根据权利要求1所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述导正套本体沿其轴向包括：

第一段体，所述第一段体形成为中空的柱状；

第二段体，所述第二段体的一端与所述第一段体的一端相连并互相导通，所述第二段体的外壁面形成为所述导向斜面。

3.根据权利要求2所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述导向斜面的截面与所述导正套本体的轴线之间的夹角为13°-18°。

4.根据权利要求2所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述安装孔的径向尺寸为d1，所述第一段体的外径尺寸为d2，d1＝d2+(0.3mm～O.5mm)。

5.根据权利要求1所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述定位孔的内壁面与所述导管的外周面的至少一部分螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述定位孔包括：

第一孔段，所述第一孔段设在所述导正套本体朝向所述导管的一端；

第二孔段，所述第二孔段的一端与所述第一孔段的一端相连，所述第二孔段的径向尺寸小于所述第一孔段的径向尺寸，所述第二孔段的轴向长度为L2，所述第一孔段的轴向长度为L1，L2/L1＝0.3～0.4。

7.根据权利要求6所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述第一孔段的至少一部分与所述导管的外周面螺纹连接。

8.根据权利要求6所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述第二孔段的径向尺寸小于所述导管的径向尺寸。

9.根据权利要求1所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述溅射靶设有与所述导管的另一端相连的绝缘安装件，所述绝缘安装件包括：

底座，所述底座与所述溅射靶相连；

安装部，所述安装部设于所述底座且朝向所述侧壁所在方向的一侧的端面形成为限位面，所述限位面与所述导正套本体的一端止抵，所述安装部的厚度与所述导管的外径向尺寸之和等于所述导正套本体的一端的外径向尺寸。

10.根据权利要求9所述的溅射靶安装用导正套，其特征在于，所述绝缘安装件为聚四氟乙烯件。