[实用新型]溅射靶安装用导正套

说明书

本实用新型公开了一种溅射靶安装用导正套，能够用于将溅射靶安装于设备的侧壁，溅射靶设有朝向侧壁所在方向延伸的导管，侧壁设有沿其壁厚方向贯通的安装孔，导正套包括：导正套本体，形成为柱状且其轴向长度大于导管的轴向长度，导正套本体内限定有沿其轴向延伸的定位孔，导管的一端穿过导正套本体的一端伸入定位孔，导正套本体的另一端的外壁面形成为朝向安装孔的中心所在方向向内倾斜延伸的导向斜面，导向斜面朝向安装孔所在方向的一端的外径尺寸小于安装孔的内径尺寸，导向斜面能够穿过导向孔并将导管引入安装孔。该溅射靶安装用导正套结构简单，拆装方便，便于快速定位。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种溅射靶安装用导正套。

背景技术

真空镀膜领域中磁控溅射镀膜机被广泛应用，而大部分立式溅射靶由真空室内往外安装，即通过导套穿过真空室壁上预留的安装孔，使用紧固螺母拧紧。真空室壁与导套之间使用绝缘块隔开。溅射机靶座一般采用316不锈钢材料，生产用的溅射靶长度一般在1.8m～2.4m，溅射靶整体质量大于100kg。在将靶材安装到磁控溅射镀膜机的过程中，关键问题是需要将导套准确地放入安装孔中。但在实际操作中，需多人相互配合才能完成安装，易导致导套中心与安装孔中心位置产生偏差，并与真空室发生碰撞，使导套前端的螺纹发生变形，导致紧固螺母无法安装并固定靶材。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本实用新型提出一种溅射靶安装用导正套，该溅射靶安装用导正套装配简单，能够有效防止导管在装配过程中受到磨损，导致导管与锁定件无法快速安装。

根据本实用新型实施例的溅射靶安装用导正套，能够用于将溅射靶安装于设备的侧壁，所述溅射靶设有朝向所述侧壁所在方向延伸的导管，所述侧壁设有沿其壁厚方向贯通的安装孔，所述导正套包括：导正套本体，所述导正套本体形成为柱状且其轴向长度大于所述导管的轴向长度，所述导正套本体内限定有沿其轴向延伸的定位孔，所述导管的一端穿过所述导正套本体的一端伸入所述定位孔，所述导正套本体的另一端的外壁面形成为朝向所述安装孔的中心所在方向向内倾斜延伸的导向斜面，所述导向斜面朝向所述安装孔所在方向的一端的外径尺寸小于所述安装孔的内径尺寸，所述导向斜面能够穿过所述导向孔并将所述导管引入所述安装孔。

根据本实用新型实施例的溅射靶安装用导正套，通过采用导正套本体将导管引入安装孔内，在引入安装孔内后，可以将导正套本体撤出，随后通过锁定件将导管进行安装、锁定。导管在装配的过程中不会与真空室发生碰撞，并且不会与安装孔的中心位置发生偏差，该导正套具有提高装配效率，延长导管使用寿命的优点。

根据本实用新型一个实施例，所述导正套本体沿其轴向包括：第一段体，所述第一段体形成为中空的柱状；第二段体，所述第二段体的一端与所述第一段体的一端相连并互相导通，所述第二段体的外壁面形成为所述导向斜面。

根据本实用新型一个实施例，所述导向斜面的截面与所述导正套本体的轴线之间的夹角为13°-18°。

根据本实用新型一个实施例，所述安装孔的径向尺寸为d1，所述第一段体的外径尺寸为d2，d1＝d2+(0.3mm～O.5mm)。

根据本实用新型一个实施例，所述定位孔的内壁面与所述导管的外周面的至少一部分螺纹连接。

根据本实用新型一个实施例，所述定位孔包括：第一孔段，所述第一孔段设在所述导正套本体朝向所述导管的一端；第二孔段，所述第二孔段的一端与所述第一孔段的一端相连，所述第二孔段的径向尺寸小于所述第一孔段的径向尺寸，所述第二孔段的轴向长度为L2，所述第一孔段的轴向长度为L1，L2/L1＝0.3～0.4。

根据本实用新型一个实施例，所述第一孔段的至少一部分与所述导管的外周面螺纹连接。

根据本实用新型一个实施例，所述第二孔段的径向尺寸小于所述导管的径向尺寸。