[实用新型]一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置

权利要求书

1.一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；所述多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个所述气体单元上设置有气体流量传感器，多个所述水路单元上设置有水流量传感器；其中：

多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；

多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。

2.根据权利要求1所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，多个所述气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-，当多个所述气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-断开并产生气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE；

多个所述水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-，当多个所述水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号FLOW_OUT+和FLOW_OUT-断开产生水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE。

3.根据权利要求2所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，在所述多参数互锁终端装置中，当气体流量和水流量有一个或者同时产生低报警状态时，控制准分子激光器的高电压充电电源HVPS断开，并产生激光器高压充电电源断开状态信号LASER_PROTECT_STATE。

4.根据权利要求3所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述多参数互锁终端装置还包括单片机，气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE和激光器高压充电电源断开状态信号LASER_PROTECT_STATE通过光电耦合器传输给单片机。

5.根据权利要求4所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述多参数互锁终端装置还包括主控制器，所述单片机将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器，所述主控制器保存气体流量状态信号和水流量状态信号信息，定时监测气体单元和水路单元的工作状态。

6.根据权利要求5所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述单片机通过CAN总线将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器。

7.根据权利要求6所述的基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，其特征在于，所述单片机使用CAN总线经过CAN专用隔离芯片、CAN接口将气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE、水流量低报警状态信号FLOW_PROTECT_STATE发送给主控制器。