[实用新型]一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置

说明书

本实用新型涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元、水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生低报警状态信号。该装置精确采集各单元的NPN信号并实时监测产生互锁，能保证各气路单元内气体流量和各水路单元水流量不低于危险下限值，不会出现因为气体流量值过低而损坏光学器件或者因为水路流量过低而损坏腔体及各配电单元的情况。

技术领域

本实用新型涉及激光器领域，具体而言，涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。

背景技术

准分子激光器是一种面向深紫外特征应用的脉冲式气体激光器，具有高重频、大能量、短波长、窄线宽等特点，是较优的微电子光刻装置用激光光源。

准分子激光器内部各个单元造价昂贵，如果某些器件由于一些误操作或是执行机构的延时而产生损伤，代价会比较大，传统的放电泵浦准分子激光器各气体流量和水路流量传感器为三线制采集输入端只采集模拟电流信号，这样气体和水流量采集如果异常只能让单片机通过CAN传输给软件控制装置，由软件控制装置根据限制发出不同级别的报警指令，对于一些严重超限制指令，需要通过软件控制装置发出报警指令来实现放电腔停止放电的操作，该方法一方面存在延时，另一方面存在通信链路受装置电磁干扰导致通信故障等问题，因此需要直接通过硬件切断电源，硬件互锁对于保护激光器具有很重要的意义。

准分子激光器报警分为很多级别，对于比较危险的信号，需要直接断电以确保激光器的使用安全和工作人员的人身安全，对于快门如果没有氮气无法打开，出现氮气流量严重缺少时，是一件很危险的事情，必须硬件产生互锁，直接断开其供电电源，还有水路单元比如因厂务等一些外在原因突然停水或水流值低于某一限值，此时需要从硬件上断开高压充电电源，因此硬件互锁非常有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，以解决现有技术中无法实现对准分子激光器多路气体流量、水流量的硬件互锁的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置，准分子激光器内包括有：工作在浓度稳定的气体环境中的多个气体单元、工作在水流降温环境中的多个水路单元；多参数互锁终端装置包括多个：气体流量传感器、水流量传感器、光电耦合器、继电器；多个气体单元上设置有气体流量传感器，多个水路单元上设置有水流量传感器；其中：

多个气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开并产生气体流量低报警状态信号；

多个水路单元上水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号，当多个水路单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号断开产生水流量低报警状态信号。

进一步地，多个气体单元上气体流量传感器的NPN信号分别连接到对应的电耦合器的第二管脚，且多个光电耦合器的第四管脚连在一起接到另外一个光电耦合器上，再连接一个继电器，将NPN逻辑信号转换为继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-，当多个气体单元中有一路或多路出现NPN信号输出为0时，继电器开关信号N2_OUT+和N2_OUT-断开并产生气体流量低报警状态信号N2_PROTECT_STATE；