[实用新型]一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架

权利要求书

1.一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，其特征在于：所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；所述驱动链盘和从动链盘通过环形链条形成一闭环；所述从动链盘两端分别安装到封板和圆盘其轴承上；所述驱动链盘和从动链盘靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板；顶部的所述驱动链盘与动力机构安装。

2.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述动力机构包括驱动电机，及与驱动电机安装的减速箱；所述减速箱输出端与底部的所述驱动链盘通过联轴器安装。

3.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述外仓和密封板正对开设有至少两密封环；所述外仓和密封板于两密封环之间正对开设有至少一环螺栓孔；所述螺栓孔内旋接有螺栓；两正对所述密封环内侧压制有密封圈。

4.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述从动链盘其驱动轴上固定有盘体；底部的所述盘体上固定有多根定位柱；顶部的所述盘体上插拔安装有多根定位柱；所述基材摆放架顶部和底部正对定位柱开设有定位孔；所述驱动链盘其驱动轴之间通过主轴固定。

5.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述基材摆放架为三角形结构、方形结构和多边形结构中的一种。

6.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述基材摆放架包括架体，所述架体表面间隔设置有多个陶瓷基板压槽。

7.根据权利要求1所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：所述基材摆放架包括架体，所述架体表面间隔设置有多组螺孔；每组所述螺孔之间固定有底部镂空的基材架板。

8.根据权利要求7所述的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，其特征在于：下一所述基材架板长度小于上一所述基材架板长度。