[实用新型]一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架

说明书

本实用新型公开了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，陶瓷基材外部装载后送入到真空舱室内进行圆周运转镀膜，镀膜装载简单，转向和转动频率可选择独立的链条驱动盘进行控制。

技术领域

本实用新型涉及一种陶瓷镀铜预处理设备，具体涉及一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，属于真空镀膜技术领域。

背景技术

真空镀膜是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由源转移到基材表面上的过程；它的作用是可以使某些有特殊性能（强度高、耐磨性、散热性、耐腐性等）的微粒喷涂在性能较低的母体上，使得母体具有更好的性能；PVD基本方法：真空蒸发、溅射、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）；真空蒸发镀膜一般应用于纯度极高的膜、绝缘物的蒸镀和高熔点物质的蒸镀，其是在真空情况下，将所要蒸镀的材料利用加热设备加热到融化温度，使原子蒸发，到达并附着在基板表面上的一种镀膜方式；基材镀膜时，先需要将基材装载到基材架上，然后关闭舱门并将真空度和温度控制到预设值时，才能进行后续镀膜操作，现有的真空镀膜往往针对柔性片材，如中国专利申请号：201410759054.6，公开了一种镀铜薄膜的生产工艺，能够在塑料薄膜层上单面或双面镀铜膜，镀层厚度为0.1~1微米，镀铜薄膜的生产工艺包括铜块的融化和薄膜的卷绕镀，其中铜块的融化是将纯度为99.95%以上的铜放入到高频感应蒸发镀膜电源的坩埚中；并按照重量份计算，相对于铜的比例为300~500：1的比例加入催化剂；将镀铜腔室密封，利用4000~8000Hz的高频对高频感应蒸发镀膜电源坩埚中的铜加热，加热温度在1800~2400℃，直至融化，但现有技术中，对陶瓷类镀膜制程中，还没有比较高效的基材摆放架。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出了一种陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，采用圆周运转结构，对陶瓷基材进行装载和镀膜，镀膜装载简单，且能够高效镀膜。

本实用新型的陶瓷真空镀铜动力基材摆放架，通过在现有的真空舱室基础上，上下设置独立的密封仓，其密封仓严格密封，不会造成真空舱室真空度损失，并在密封仓内分别设置同型号的链条驱动盘；链盘驱动盘的每一转轴通过链条传动实现独立转动，其可根据陶瓷基板具体要求，设置内部齿盘同型号或不同齿径结构，同时也可根据要求，选择同向运转或部分反向运转安装；其能够根据陶瓷基材要求进行灵活选择组装应用；不同陶瓷基材对链条驱动盘的不同要求，可直接将其拆卸更换，更换简单，更换效率高；陶瓷基材装载时，是在真空舱室外部进行，完成陶瓷基材装载后，整整个基材摆放架送入到真空舱室内进行组装即可；其结构具体如下：包括真空舱室，所述真空舱室顶部和底部设置有外仓；所述外仓内侧安装有链条驱动盘；所述链条驱动盘其驱动轴活动嵌入到真空舱室；底部得分所述链条驱动盘通过动力机构驱动；所述外仓远离真空舱室一侧通过密封板密封；两正对所述驱动轴之间可拆卸安装有基材摆放架；所述链条驱动盘包括凹型的圆盘；所述圆盘顶部设置有封板；所述圆盘内侧间隔排列有一环从动链盘；所述从动链盘之间设置有一驱动链盘；所述驱动链盘和从动链盘通过环形链条形成一闭环；所述从动链盘两端分别安装到封板和圆盘其轴承上；所述驱动链盘和从动链盘靠近封板一端的所述驱动轴延伸出封板；顶部的所述驱动链盘与动力机构安装；动力机构带动驱动链盘转动，驱动链盘通过环形链条驱动从动链盘转动，从而实现整组基材摆放架转动，实现动态镀膜。

进一步地，所述动力机构包括驱动电机，及与驱动电机安装的减速箱；所述减速箱输出端与底部的所述驱动链盘通过联轴器安装，驱动电机驱动减速箱动作，减速箱给驱动链盘动力，驱动链盘通过链条给各个从动链盘转动的动力。