[实用新型]一种用于微型晶圆的强度检测装置

权利要求书

1.一种用于微型晶圆的强度检测装置，包括放置台(10)，其特征在于，所述放置台(10)的上表面中心开设有存放槽(6)，且放置台(10)的后表面固定安装有蓄电池，所述放置台(10)的上表面靠近存放槽(6)一侧位置处固定安装有第一支架(1)，且放置台(10)的上表面靠近存放槽(6)另一侧位置处固定安装有第二支架(4)，所述第一支架(1)和第二支架(4)的连接处固定安装有横板(2)，所述横板(2)的下表面固定安装有电动伸缩杆(3)，所述电动伸缩杆(3)的底端固定安装有第一压板(17)，所述第一压板(17)的下方设置有第二压板(18)，且第一压板(17)和第二压板(18)的连接处固定安装有压力传感器(19)，所述放置台(10)的内部靠近存放槽(6)下方位置处开设有限位槽(15)，且放置台(10)的上表面靠近第二支架(4)前侧位置处固定安装有控制开关(5)，所述存放槽(6)和限位槽(15)相连通，且存放槽(6)和限位槽(15)的内部均设置有缓冲组件(14)，所述缓冲组件(14)的上方由左至后分别设置有第一夹持组件(7)和第二夹持组件(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于微型晶圆的强度检测装置，其特征在于，所述缓冲组件(14)包括限位柱(11)、第一弹簧(12)、支撑板(9)和第二弹簧(13)，所述支撑板(9)的下表面固定安装有限位柱(11)，且支撑板(9)的下表面靠近限位柱(11)一侧位置处设置有第一弹簧(12)，所述支撑板(9)与存放槽(6)滑动，所述限位柱(11)位于限位槽(15)的内部，且限位柱(11)与限位槽(15)滑动，所述限位柱(11)与限位槽(15)的连接处设置有第二弹簧(13)，所述第一弹簧(12)的顶端与支撑板(9)的下表面相连，且第一弹簧(12)的底端与存放槽(6)相连。

3.根据权利要求2所述的一种用于微型晶圆的强度检测装置，其特征在于，所述第一夹持组件(7)包括第四弹簧(23)、第一固定板(24)和第一金属弹片(25)，所述第四弹簧(23)的一端连接有第一固定板(24)，且第四弹簧(23)的另一端连接有第一金属弹片(25)，所述第一固定板(24)与支撑板(9)固定，且第一固定板(24)为半圆形结构。

4.根据权利要求2所述的一种用于微型晶圆的强度检测装置，其特征在于，所述第二夹持组件(8)包括第二金属弹片(20)、第二固定板(21)和第三弹簧(22)，所述第三弹簧(22)的一端连接有第二固定板(21)，且第三弹簧(22)的另一端连接有第二金属弹片(20)，所述第二固定板(21)与支撑板(9)固定，且第二固定板(21)为半圆形结构。

5.根据权利要求1所述的一种用于微型晶圆的强度检测装置，其特征在于，所述电动伸缩杆(3)的固定端与横板(2)的下表面通过螺栓固定连接，且电动伸缩杆(3)的伸缩端与第一压板(17)的上表面通过螺栓固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种用于微型晶圆的强度检测装置，其特征在于，所述限位柱(11)为圆柱体结构，且限位柱(11)的数量为六个，所述限位柱(11)为合金钢材质的构件。