[实用新型]一种便于基片自动翻转的镀膜机件

说明书

本实用新型提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件，通过设置通过第一机械臂和第二机械臂动作调节第一夹爪和第二夹爪的距离，从而使第一夹爪和第二夹爪配合夹持翻转板，通过第六机械臂和第七机械臂同时转动带动翻转板翻转从而可对固定在翻转板上的基片进行双面镀膜，通过第四机械臂和第五机械臂调节所夹持的翻转板的高度以适应不同的镀膜要求，通过第一机械臂转动带动翻转板转动，从而对基片进行均匀镀膜，有效提高镀膜效率和镀膜质量。

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种便于基片自动翻转的镀膜机件。

背景技术

目前，在对工件在进行真空镀膜时，常常需要两面膜层为相同的材料，但是由于缺乏相应的翻转夹持工装，像是在对工件进行双面镀膜时，需要人工进行翻转，才能够完成工件的双面镀膜，而在人工进行翻转的过程中，由于由于工件双面镀膜时要两次进出镀膜机，两次减压抽真空，并且中途打开一次，步骤多镀膜效率低，且难以保证镀膜的洁净度，进而影响板材的镀膜质量。而且每次只能用于对一个工件进行镀膜，效率较低。

实用新型内容

基于背景技术存在的技术问题，本实用新型提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件。

本实用新型提出的一种便于基片自动翻转的镀膜机件，包括箱体、第一机械臂、第二机械臂、第三机械臂、第四机械臂、第五机械臂、第五机械臂、第五机械臂、第一夹爪、第二夹爪和翻转板；

第一机械臂沿竖直方向布置，第一机械臂第一端安装在箱体内部顶部且可沿自身轴线转动设置，第一机械臂第二端与连接杆中部固定连接，

第二机械臂安装在连接杆第一端且可相对于连接杆沿连接杆的长度方向活动，第三机械臂安装在连接杆第二端且可相对于连接杆沿连接杆的长度方向活动；

第四机械臂安装在第二机械臂第二端且可相对于第二机械臂沿竖直方向活动，第六机械臂与第二机械臂平行布置，第六机械臂安装在第四机械臂第二端且可沿自身轴线转动；

第五机械臂安装在第三机械臂第二端且可相对于第三机械臂沿竖直方向活动，第七机械臂与第三机械臂平行布置，第七机械臂安装在第五机械臂第二端且可沿自身轴线转动，

第一夹爪安装在第六机械臂第二端，第二夹爪安装在第七机械臂第二端，第一夹爪与第二夹爪相对设置，第一夹爪和第二夹爪配合以夹持翻转板。

优选地，还包括控制器，第二机械臂第二端设有用于检测第二机械臂第二端到第一机械臂的水平距离的第一距离检测器，第三机械臂第二端设有用于检测第三机械臂第二端到第一机械臂的水平距离的第二距离检测器；

第四机械臂第二端设有用于检测第四机械臂第二端到连接杆的竖直距离的第三距离检测器，第五机械臂第二端设有用于检测第五机械臂第二端到连接杆的竖直距离的第四距离检测器；

第一距离检测器、第二距离检测器、第三距离检测器和第四距离检测器信号连接控制器，控制器分别控制连接第一机械臂、第二机械臂、第三机械臂、第四机械臂、第五机械臂、第六机械臂、第七机械臂、第一夹爪和第二夹爪。

优选地，翻转板包括翻转基板和压板，翻转基板开设有至少一个用于容纳基片的第一阶梯通槽，压板上对应第一阶梯通槽处设有第二阶梯通槽，第一阶梯通槽的台阶和第二阶梯通槽的台阶相对设置，第二阶梯通槽的台阶处弹性连接有用于压紧基片的压片，翻转基板与压板可拆卸固定连接。

优选地，翻转基板四周分别设有螺纹孔，压板上对应螺纹孔处开设有台阶通孔，台阶通孔具有沉头孔部和通孔部，沉头孔的内径大于通孔的孔径，通孔部的孔径大于螺纹孔的内径，沉头孔内设有螺栓，螺栓前端穿过通孔部与对应的螺纹孔螺纹连接。

优选地，凸台顶面上开设有至少一个盲孔，盲孔的孔底部固定连接有弹性件，弹性件一端伸出盲孔与压片固定连接。