[实用新型]一种用于蒸镀的加热装置

说明书

本实用新型提供一种用于蒸镀的加热装置，包括基板，以及设置于所述基板表面的导电层，基板具有相对的第一表面和第二表面；导电层包括第一导电层和第二导电层；第一导电层设置于基板的第一表面；第二导电层设置于基板的第二表面；第一导电层和所述第二导电层的电阻相同。采用这种用于蒸镀的加热装置，有效地延长了用于蒸镀的加热装置的使用寿命。

技术领域

本发明涉及加热部件技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀的加热装置。

背景技术

蒸镀，是指在真空环境中，将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或者升华，使之在工件或基片表面析出的过程。通过蒸镀能在金属、半导体、绝缘体甚至塑料、纸张、织物表面上沉积金属、半导体、绝缘体、不同成分比的合金、化合物及部分有机聚合物等的薄膜，其适用范围非常广泛；目前蒸镀工艺中一般采用陶瓷加热器，但是由于这种陶瓷加热器结构较为复杂，制备成本较高，使用寿命就成为决定其性价比的关键特性。目前，这种陶瓷加热器损坏大多是因为裸露的导电区打火导致电极损坏，虽然通过装配可以在一定程度上降低这种损坏发生的可能性，但是一旦电极损坏发生，整支加热器就完全报废。

现有技术在制备平板加热器导电层的过程中，需要对基板非导电层一侧进行遮挡，增加了工装设计和安装的复杂性；如果不进行遮挡，需要在制备完成导电层后，单独对该侧的导电层进行去除，增加了作业工序和损坏加热器的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种延长使用寿命的用于蒸镀的加热装置。

为解决上述问题，本实用新型实施例提供了一种用于蒸镀的加热装置，包括基板，以及依次设置于所述基板表面的导电层，所述基板具有相对的第一表面和第二表面；所述导电层包括第一导电层和第二导电层；所述第一导电层设置于所述基板的第一表面；所述第二导电层设置于所述基板的第二表面；所述第一导电层和所述第二导电层的电阻相同。

进一步的，所述用于蒸镀的加热装置上设置有用于设置电极的、贯通的电极孔。

进一步的，还包括与所述电极孔相适配的导电部件和绝缘部件；所述导电部件用于所述第一导电层和所述第二导电层中的一个与所述电极连接；所述绝缘部件用于所述第一导电层和所述第二导电层中的另一个与所述电极绝缘。

进一步的，靠近所述用于蒸镀的加热装置边缘设置有至少两个所述电极孔。

进一步的，所述绝缘部件居中位置设置有筒体部，所述筒体部的居中位置设置有贯通的通孔。

进一步的，所述筒体部的外径小于所述电极孔的内径，所述筒体部的轴向长度大于所述电极孔的轴向尺寸。

进一步的，所述导电部件居中位置设置有贯通的连接孔。

进一步的，所述导电部件套设在所述筒体部上；所述连接孔与所述筒体部相适配。

进一步的，所述用于蒸镀的加热装置设置有贯通的测温孔。

进一步的，所述绝缘层设置在所述用于蒸镀的加热装置表面。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

当某一侧的导电区发生损坏时，因为两侧都可以进行加热，并且基板两侧的电阻相同，保证了加热环境的相同，可以将用于蒸镀的加热装置翻转180°后继续使用，有效延长单支用于蒸镀的加热装置使用寿命的效果。

附图说明

图1是本实施方式提供的一种用于蒸镀的加热装置结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图；

图3是提供一个实施例的第一导电层所在侧的结构示意图；

图4是提供一个实施例的第二导电层所在侧的结构示意图；