[实用新型]滤波器

权利要求书

1.一种滤波器，其特征在于，包括级联的若干个谐振器，其中，各所述谐振器均包括：

基板，所述基板包括承载面，所述承载面上设置有第一凹槽；

支撑层，所述支撑层设置在所述承载面上；

压电堆叠结构，所述压电堆叠结构设置在所述支撑层背离所述第一凹槽的一侧并与所述第一凹槽对应；其中，

所述支撑层在对应所述压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形；

其中，各所述压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形不同于其他所述压电堆叠结构对应的所述镂空图形，以通过在不同所述镂空图形内填充材料调整所述谐振器的谐振频率。

2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述支撑层在对应所述压电堆叠结构的位置处设置有多个所述镂空图形，所述多个镂空图形沿所述支撑层的长度方向等间隔设置。

3.根据权利要求2所述的滤波器，其特征在于，各所述镂空图形均位于对应的所述支撑层的中央区域处。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，各所述压电堆叠结构对应的镂空图形均不同于其他压电堆叠结构对应的镂空图形。

5.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，各所述谐振器的支撑层形成一体结构；和/或，各所述谐振器的基板形成一体结构。

6.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，所述镂空图形呈方块状镂空图形、长条形镂空图形、条状交叉镂空图形、圆孔状镂空图形、三角形镂空图形和六边形镂空图形中的一者。

7.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，所述支撑层的厚度范围为0.1μm～5μm。

8.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，所述支撑层材料为二氧化硅、氮化硅、氮化铝、碳化硅、硅、氮化镓、砷化镓、钼、钨、铂、钛、铝和金中任意一者。

9.根据权利要求1至3中任意一项所述的滤波器，其特征在于，所述压电堆叠结构包括依次设置在所述支撑层背离所述第一凹槽一侧的下电极、压电层、上电极；

其中，所述下电极与所述镂空图形接触；

所述压电层边缘区域覆盖所述支撑层。

10.根据权利要求9所述的滤波器，其特征在于，所述压电堆叠结构还包括：

钝化层，所述钝化层设置在所述上电极背离所述基板的一侧；

下电极引出线，所述下电极引出线沿厚度方向贯穿所述压电层并与所述下电极电连接；

上电极引出线，所述上电极引出线沿厚度方向贯穿所述钝化层并与所述上电极电连接。