[实用新型]滤波器

说明书

本实用新型提供一种滤波器，该滤波器包括级联的若干个谐振器，其中，各谐振器均包括：基板，该基板的承载面上设置有第一凹槽；设置在承载面上的支撑层；压电堆叠结构，该结构设置在支撑层背离第一凹槽的一侧并与第一凹槽对应；其中，支撑层在对应压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形，各压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个压电堆叠结构对应的镂空图形不同于其他压电堆叠结构对应的镂空图形，以通过在不同镂空图形内填充材料调整谐振器的谐振频率。该滤波器实现了同时具有多个不同谐振频率的谐振器情况，易于调整频率，修正的频率范围较大，且降低了成本，提高了设计灵活度。

技术领域

本实用新型涉及微电子器件，具体涉及一种滤波器。

背景技术

随着无线通讯应用的发展，人们对于数据传输速度的要求越来越高。在移动通信领域，第一代是模拟技术，第二代实现了数字化语音通信，第三代(3G)以多媒体通信为特征，第四代(4G) 将通信速率提高到1Gbps、时延减小到10ms，第五代(5G)是4G 之后的新一代移动通信技术，5G与3G、4G相比，其网络传输速率和网络容量将大幅提升。如果说从1G到4G主要解决的是人与人之间的沟通，5G将解决人与人之外的人与物、物与物之间的沟通，即万物互联，实现“信息随心至，万物触手及”的愿景。

与数据率上升相对应的是频谱资源的高利用率以及通讯协议的复杂化。由于频谱有限，为了满足数据率的需求，必须充分利用频谱；同时为了满足数据率的需求，从4G开始还使用了载波聚合技术，使得一台设备可以同时利用不同的载波频谱传输数据。另一方面，为了在有限的带宽内支持足够的数据传输率，通信协议变得越来越复杂，因此对射频系统的各种性能也提出了严格的需求。

在射频前端模块中，射频滤波器起着至关重要的作用。它可以将带外干扰和噪声滤除以满足射频系统和通讯协议对于信噪比的需求。随着通信协议越来越复杂，对频带内外的要求也越来越高，使得滤波器的设计越来越有挑战。另外，随着手机需要支持的频带数目不断上升，每一款手机中需要用到的滤波器数量也在不断上升。

目前射频滤波器最主流的实现方式是声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波器和基于薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)技术的滤波器。SAW滤波器由于其自身的局限性，在1.5GHz以下使用比较合适。然而，目前的无线通讯协议已经早就使用大于2.5GHz的频段，这时必须使用基于 FBAR技术的滤波器。

在实现基于FBAR技术的滤波器时，为了得到滤波器指标要求的滤波特性，通常将多个不同谐振频率的谐振器按梯形和格形等拓扑结构以串并联形式相连接。在一个滤波器中至少应包含两种谐振频率的谐振器，同时含有不同谐振频率的谐振器越多，设计的灵活度越多，越容易实现所要求的滤波特性。现在常用一些方法来实现在同一个晶圆上具有不同谐振频率的谐振器，纵向多次刻蚀形成多种谐振器，比如在需要低频率的谐振器上多做一层材料以增加质量负载。采用这种方式每多实现一种谐振频率的器件就需要多做一次光刻和刻蚀，使得工艺复杂性和成本大大增加，因此，采用这种方式实现的滤波器中具有不同频率的谐振器一般少于3种，也有采用激光或离子束修频的方式对谐振器频率进行修改的，但是这种方式需要特定的设备，价格高昂，且本身修频的成本也比较高，修正的频率范围较小，一般用来对器件的频率进行微调，而对于实现有较大频率差异的谐振器，这种方式不太适合。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种滤波器。

本实用新型提供一种滤波器，包括级联的若干个谐振器，其中，各所述谐振器均包括：

基板，所述基板包括承载面，所述承载面上设置有第一凹槽；

支撑层，所述支撑层设置在所述承载面上；

压电堆叠结构，所述压电堆叠结构设置在所述支撑层背离所述第一凹槽的一侧并与所述第一凹槽对应；其中，